缺陷观察方法以及缺陷观察装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380069668.5

申请日：

2013-12-06

公开(公告)号：

CN104903712A

公开(公告)日：

2015-09-09

发明(设计)人：

原田实高木裕治中垣亮平井大博木附洋彦

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01N23225

IPC分类号：

G01N21956

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

范胜杰;曹鑫

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-09	公开	公开
2015-10-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101628128949 IPC(主分类):G01N 23/225 专利申请号:2013800696685 申请日:20131206
2018-01-02	授权	授权

共 50 条

[1]

缺陷观察方法以及缺陷观察装置 [P].

平井大博 ;

中垣亮 ;

原田实 .

中国专利 :CN104870985A ,2015-08-26

[2]

缺陷观察装置及包含所述缺陷观察装置的激光加工设备 [P].

金俊来 ;

李瑾行 ;

池泳洙 .

中国专利 :CN105081560A ,2015-11-25

[3]

观察装置以及观察方法 [P].

高桥晋太郎 ;

平田唯史 ;

伊贺靖展 ;

泷本真一 ;

三由贵史 .

中国专利 :CN107003507A ,2017-08-01

[4]

观察装置以及观察方法 [P].

上喜裕 ;

远藤富男 ;

大野修 ;

松下朗 ;

谷川洋平 .

中国专利 :CN107034131A ,2017-08-11

[5]

观察装置、观察支援装置、观察支援方法以及程序 [P].

东条良 ;

羽根润 ;

藤田浩正 .

中国专利 :CN104736038B ,2015-06-24

[6]

观察装置、观察支援装置、观察支援方法以及程序 [P].

藤田浩正 ;

东条良 .

中国专利 :CN104755005A ,2015-07-01

[7]

观察装置、观察方法和观察系统 [P].

高桥笃史 ;

网野宏树 ;

八道刚 ;

野中修 .

中国专利 :CN107770419A ,2018-03-06

[8]

观察装置、测定系统、观察方法以及记录介质 [P].

网野宏树 ;

川口胜久 ;

青田幸治 ;

野中修 .

中国专利 :CN107151627A ,2017-09-12

[9]

试样观察装置以及方法 [P].

土居悠辉 ;

近藤直明 ;

原田实 ;

中山英树 ;

岭川阳平 ;

高木裕治 .

中国专利 :CN115508398A ,2022-12-23

[10]

荧光观察装置以及荧光观察方法 [P].

平译和胜 ;

三轮光春 .

中国专利 :CN105074433A ,2015-11-18

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