缺陷观察方法以及缺陷观察装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380066389.3

申请日：

2013-11-29

公开(公告)号：

CN104870985A

公开(公告)日：

2015-08-26

发明(设计)人：

平井大博中垣亮原田实

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01N23225

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

范胜杰;曹鑫

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-08-26	公开	公开
2015-09-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101626831518 IPC(主分类):G01N 23/225 专利申请号:2013800663893 申请日:20131129
2017-06-13	授权	授权

共 50 条

[1]

缺陷观察方法以及缺陷观察装置 [P].

原田实 ;

高木裕治 ;

中垣亮 ;

平井大博 ;

木附洋彦 .

中国专利 :CN104903712A ,2015-09-09

[2]

缺陷观察装置及包含所述缺陷观察装置的激光加工设备 [P].

金俊来 ;

李瑾行 ;

池泳洙 .

中国专利 :CN105081560A ,2015-11-25

[3]

观察装置以及观察方法 [P].

高桥晋太郎 ;

平田唯史 ;

伊贺靖展 ;

泷本真一 ;

三由贵史 .

中国专利 :CN107003507A ,2017-08-01

[4]

观察装置以及观察方法 [P].

上喜裕 ;

远藤富男 ;

大野修 ;

松下朗 ;

谷川洋平 .

中国专利 :CN107034131A ,2017-08-11

[5]

观察装置、观察支援装置、观察支援方法以及程序 [P].

东条良 ;

羽根润 ;

藤田浩正 .

中国专利 :CN104736038B ,2015-06-24

[6]

观察装置、观察支援装置、观察支援方法以及程序 [P].

藤田浩正 ;

东条良 .

中国专利 :CN104755005A ,2015-07-01

[7]

荧光观察装置以及荧光观察方法 [P].

平译和胜 ;

三轮光春 .

中国专利 :CN105074433A ,2015-11-18

[8]

干涉观察装置以及干涉观察方法 [P].

山内丰彦 ;

山田秀直 .

中国专利 :CN107209000A ,2017-09-26

[9]

细胞观察装置以及细胞观察方法 [P].

疋田雄一郎 .

中国专利 :CN107084923B ,2017-08-22

[10]

攻击观察装置以及攻击观察方法 [P].

河内清人 ;

樱井钟治 .

中国专利 :CN106687974B ,2017-05-17

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