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一种气体精确分配装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202120260812.5
申请日
:
2021-01-29
公开(公告)号
:
CN214580448U
公开(公告)日
:
2021-11-02
发明(设计)人
:
孔祥荣
雷达
何豫川
曹嫣然
安浩
万毅
刘中华
申请人
:
申请人地址
:
450000 河南省郑州市郑东新区才高街6号东方鼎盛中心A座9007室
IPC主分类号
:
F17C1304
IPC分类号
:
F17C1302
代理机构
:
郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149
代理人
:
关璐琪
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-11-02
授权
授权
共 50 条
[1]
一种气体分配装置
[P].
吕会颖
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吕会颖
;
陈立锋
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陈立锋
;
孙健
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孙健
;
陈军
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陈军
;
霍英男
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霍英男
.
中国专利
:CN214066410U
,2021-08-27
[2]
一种气体均匀分配装置
[P].
朱志平
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朱志平
;
董红敏
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董红敏
.
中国专利
:CN203837758U
,2014-09-17
[3]
一种气体分配装置
[P].
魏有雯
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拓荆科技(上海)有限公司
拓荆科技(上海)有限公司
魏有雯
;
吴凤丽
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拓荆科技(上海)有限公司
拓荆科技(上海)有限公司
吴凤丽
;
董文惠
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拓荆科技(上海)有限公司
拓荆科技(上海)有限公司
董文惠
;
郭月
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机构:
拓荆科技(上海)有限公司
拓荆科技(上海)有限公司
郭月
.
中国专利
:CN116641041B
,2024-11-15
[4]
一种气体分配装置
[P].
鄢鹤
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鄢鹤
.
中国专利
:CN208934926U
,2019-06-04
[5]
一种气体分配装置
[P].
蒲奇兵
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上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
蒲奇兵
;
蒋文军
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机构:
上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
蒋文军
;
闫晓晖
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上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
闫晓晖
;
严翔
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上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
严翔
.
中国专利
:CN222205416U
,2024-12-20
[6]
一种气体分配装置
[P].
杨德赞
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杨德赞
;
周仁
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周仁
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荒见淳一
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荒见淳一
;
吴飚
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吴飚
.
中国专利
:CN218372508U
,2023-01-24
[7]
一种气体分配装置
[P].
张世渊
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张世渊
;
骈松
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骈松
;
张晓辉
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张晓辉
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李黎明
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李黎明
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李朋喜
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李朋喜
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宋时莉
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宋时莉
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郝珍
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郝珍
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王晓威
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王晓威
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杨华
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杨华
;
孙邦兴
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孙邦兴
.
中国专利
:CN113566118A
,2021-10-29
[8]
一种气体分配装置
[P].
张世渊
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张世渊
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骈松
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骈松
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张晓辉
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张晓辉
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李黎明
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李黎明
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李朋喜
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李朋喜
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宋时莉
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宋时莉
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郝珍
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郝珍
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王晓威
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王晓威
;
杨华
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杨华
;
孙邦兴
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孙邦兴
.
中国专利
:CN216131760U
,2022-03-25
[9]
一种气体分配装置
[P].
鄢鹤
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鄢鹤
.
中国专利
:CN110230714A
,2019-09-13
[10]
一种气体分配装置
[P].
苏永光
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苏永光
.
中国专利
:CN209355273U
,2019-09-06
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