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一种气体喷淋头组件及其等离子体处理设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811108496.9
申请日：
2018-09-21
公开(公告)号：
CN110942969B
公开(公告)日：
2020-03-31
发明(设计)人：
杨金全
徐朝阳
倪图强
申请人：
申请人地址：
201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
上海元好知识产权代理有限公司 31323
代理人：
徐雯琼
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-04-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20180921 |
| 2020-03-31 | 公开 | 公开 |
| 2022-08-23 | 授权 | 授权 |