半导体设备的远程群组控制系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201911198868.6
申请日
2019-11-25
公开(公告)号
CN110933169A
公开(公告)日
2020-03-27
发明(设计)人
黄扬君 周法福
申请人
申请人地址
100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号
H04L2908
IPC分类号
H04L2906 H04L1224
代理机构
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人
彭瑞欣;王婷
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种半导体设备及半导体设备的控制系统 [P]. 
梅晓波 .
中国专利 :CN114883218A ,2022-08-09
[2]
半导体设备、半导体工艺电源控制系统及方法 [P]. 
张瑶 .
中国专利 :CN112083680A ,2020-12-15
[3]
半导体设备控制系统的优化方法及系统 [P]. 
吴攀 ;
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[4]
半导体设备控制系统的优化方法及系统 [P]. 
吴攀 ;
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王志会 .
中国专利 :CN119472308A ,2025-02-18
[5]
半导体设备控制方法、引擎及设备控制系统 [P]. 
刘亮 ;
张聪 .
中国专利 :CN119668167A ,2025-03-21
[6]
臭氧浓度控制系统及半导体设备 [P]. 
柳雪 ;
杨德赞 ;
张义明 ;
祁广杰 ;
刘镇颉 .
中国专利 :CN217278222U ,2022-08-23
[7]
一种半导体设备控制系统 [P]. 
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[8]
尾气稀释控制系统及半导体设备 [P]. 
林佳继 ;
董雪迪 ;
刘群 ;
张武 .
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[9]
半导体设备控制系统和系统监控方法 [P]. 
杜青 .
中国专利 :CN111781913B ,2020-10-16
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半导体制造设备的控制系统及其控制方法 [P]. 
周孙甫 .
中国专利 :CN114061866A ,2022-02-18