半导体设备控制系统的优化方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510054391.3

申请日：

2025-01-14

公开(公告)号：

CN119472308A

公开(公告)日：

2025-02-18

发明(设计)人：

吴攀孙明站王志会

申请人：

广东芯华镁半导体技术有限公司

申请人地址：

516000 广东省惠州市惠阳三和开发区天星二路侧上围小组

IPC主分类号：

G05B13/04

IPC分类号：

H01L21/67 C25D21/12

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

广东省惠州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-25	授权	授权
2025-03-07	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G05B 13/04申请日:20250114
2025-02-18	公开	公开

共 50 条

[1]

半导体设备控制系统的优化方法及系统 [P].

吴攀 ;

孙明站 ;

王志会 .

中国专利 :CN119472308B ,2025-04-25

[2]

半导体设备、半导体工艺电源控制系统及方法 [P].

张瑶 .

中国专利 :CN112083680A ,2020-12-15

[3]

半导体设备控制方法、引擎及设备控制系统 [P].

刘亮 ;

张聪 .

中国专利 :CN119668167A ,2025-03-21

[4]

门阀装置的控制方法、控制系统及半导体设备 [P].

李亚强 ;

肖蕴章 ;

周正之 ;

向常汉 ;

陈炳安 ;

钟国仿 .

中国专利 :CN117489809A ,2024-02-02

[5]

一种半导体设备及半导体设备的控制系统 [P].

梅晓波 .

中国专利 :CN114883218A ,2022-08-09

[6]

半导体设备控制系统的启动方法及装置 [P].

曹光英 .

中国专利 :CN111176170B ,2020-05-19

[7]

半导体设备控制系统和系统监控方法 [P].

杜青 .

中国专利 :CN111781913B ,2020-10-16

[8]

臭氧浓度控制系统及半导体设备 [P].

柳雪 ;

杨德赞 ;

张义明 ;

祁广杰 ;

刘镇颉 .

中国专利 :CN217278222U ,2022-08-23

[9]

尾气稀释控制系统及半导体设备 [P].

林佳继 ;

董雪迪 ;

刘群 ;

张武 .

中国专利 :CN217982212U ,2022-12-06

[10]

半导体设备的远程群组控制系统 [P].

黄扬君 ;

周法福 .

中国专利 :CN110933169A ,2020-03-27

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