半导体设备、半导体工艺电源控制系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910516318.8

申请日：

2019-06-14

公开(公告)号：

CN112083680A

公开(公告)日：

2020-12-15

发明(设计)人：

张瑶

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

G05B1905

IPC分类号：

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;张天舒

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-13	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G05B 19/05 申请公布日:20201215
2021-01-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G05B 19/05 申请日:20190614
2020-12-15	公开	公开

共 50 条

[1]

半导体工艺控制方法及半导体工艺控制系统 [P].

耿文毅 .

中国专利 :CN105807732B ,2016-07-27

[2]

半导体工艺控制系统和半导体处理控制系统 [P].

罗纳德·维恩·斯肖尔 ;

马克·罗杰·科温顺 ;

苏雷什·库马拉斯瓦米 ;

阿米塔巴·普里 .

中国专利 :CN107515830B ,2017-12-26

[3]

半导体工艺及半导体设备 [P].

陈俊志 ;

钟嘉麒 ;

杨文豪 ;

黄镖浚 ;

林宏铭 .

中国专利 :CN110568733A ,2019-12-13

[4]

半导体设备的工艺腔室、半导体设备及半导体工艺方法 [P].

赵雷超 ;

高天 ;

沈宇鑫 ;

赵联波 ;

郑波 .

中国专利 :CN115125519A ,2022-09-30

[5]

射频电源控制系统、方法及半导体工艺设备 [P].

乐中天 ;

郭春 ;

孙运东 .

中国专利 :CN114300333B ,2024-01-05

[6]

射频电源控制系统、方法及半导体工艺设备 [P].

乐中天 ;

郭春 ;

孙运东 .

中国专利 :CN114300333A ,2022-04-08

[7]

半导体设备的工艺控制方法、上位机、下位机及半导体设备的工艺控制系统 [P].

黄玉峰 ;

刘波 .

中国专利 :CN118824899A ,2024-10-22

[8]

半导体设备及半导体工艺方法 [P].

刘金营 .

中国专利 :CN113488429A ,2021-10-08

[9]

半导体设备及半导体工艺方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN111199897A ,2020-05-26

[10]

一种半导体设备及半导体设备的控制系统 [P].

梅晓波 .

中国专利 :CN114883218A ,2022-08-09

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