半导体工艺控制方法及半导体工艺控制系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410853024.1

申请日：

2014-12-31

公开(公告)号：

CN105807732B

公开(公告)日：

2016-07-27

发明(设计)人：

耿文毅

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

G05B19418

IPC分类号：

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

张大威

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-20	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):G05B 19/418 变更事项:申请人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号变更后:100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
2018-11-06	授权	授权
2016-07-27	公开	公开
2016-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101675836576 IPC(主分类):G05B 19/418 专利申请号:2014108530241 申请日:20141231

共 50 条

[1]

半导体工艺控制系统和半导体处理控制系统 [P].

罗纳德·维恩·斯肖尔 ;

马克·罗杰·科温顺 ;

苏雷什·库马拉斯瓦米 ;

阿米塔巴·普里 .

中国专利 :CN107515830B ,2017-12-26

[2]

半导体设备、半导体工艺电源控制系统及方法 [P].

张瑶 .

中国专利 :CN112083680A ,2020-12-15

[3]

半导体工艺控制方法及装置 [P].

任志豪 ;

杨浩 ;

王馨梦 ;

曹凯悦 ;

申震 .

中国专利 :CN115705034A ,2023-02-17

[4]

半导体工艺控制方法及装置 [P].

任志豪 ;

杨浩 ;

王馨梦 ;

曹凯悦 ;

申震 .

中国专利 :CN115705034B ,2025-09-16

[5]

半导体设备的工艺控制方法、上位机、下位机及半导体设备的工艺控制系统 [P].

黄玉峰 ;

刘波 .

中国专利 :CN118824899A ,2024-10-22

[6]

半导体工艺控制方法、装置及半导体工艺设备 [P].

刘悦 .

中国专利 :CN107591343A ,2018-01-16

[7]

半导体设备工艺控制方法和半导体设备工艺控制装置 [P].

陆涛 .

中国专利 :CN103215572A ,2013-07-24

[8]

工艺控制方法及系统、半导体设备 [P].

李娟娟 .

中国专利 :CN106873544B ,2017-06-20

[9]

半导体设备及其工艺控制方法 [P].

郭雪娇 .

中国专利 :CN113718329B ,2021-11-30

[10]

半导体加工工艺控制方法 [P].

陈卓 .

中国专利 :CN101388323B ,2009-03-18

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