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旋转圆柱磁控溅射阴极端头
被引：0
专利类型：
外观设计
申请号：
CN202030706296.5
申请日：
2020-11-20
公开(公告)号：
CN306542167S
公开(公告)日：
2021-05-14
发明(设计)人：
黄毓彬
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市宝安区燕罗街道燕川社区燕山大道3号C栋3楼301
IPC主分类号：
1509
IPC分类号：
代理机构：
北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638
代理人：
陈文瑜
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-14 | 授权 | 授权 |