旋转阴极磁场磁控溅射装置

被引：0

专利类型：

外观设计

申请号：

CN202330506291.1

申请日：

2023-08-09

公开(公告)号：

CN308485241S

公开(公告)日：

2024-02-23

发明(设计)人：

张晓军龚文志

申请人：

深圳市矩阵多元科技有限公司

申请人地址：

518131 广东省深圳市龙华区民治街道上芬社区龙屋工业区6号厂房101一、二楼

IPC主分类号：

15-99

IPC分类号：

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

何锦明

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-23	授权	授权

共 50 条

[1]

一种旋转阴极磁场磁控溅射装置 [P].

吴纯恩 ;

安辉 ;

陆艳君 ;

孙丹 ;

邓文宇 ;

杨双 ;

蒋立正 ;

齐丽君 ;

陈晓东 ;

侯强 ;

安跃军 .

中国专利 :CN116145091B ,2025-04-04

[2]

磁控溅射旋转阴极 [P].

李忠 .

中国专利 :CN213086094U ,2021-04-30

[3]

磁控溅射旋转阴极支撑端头 [P].

陈诚 ;

张少波 ;

刘月豹 ;

钟汝梅 ;

任丹 ;

孔德辉 .

中国专利 :CN205241784U ,2016-05-18

[4]

磁控溅射旋转阴极支撑端头 [P].

陈诚 ;

张少波 ;

刘月豹 ;

钟汝梅 ;

任丹 ;

孔德辉 .

中国专利 :CN105401126A ,2016-03-16

[5]

磁控溅射系统的旋转阴极 [P].

D.T.克劳利 ;

M.L.尼尔 .

中国专利 :CN103917690A ,2014-07-09

[6]

磁控溅射装置用的旋转阴极单元 [P].

斋藤修司 .

中国专利 :CN107614743B ,2018-01-19

[7]

旋转圆柱磁控溅射阴极端头 [P].

黄毓彬 .

中国专利 :CN306542167S ,2021-05-14

[8]

磁控溅射用的旋转阴极磁棒 [P].

来华杭 ;

俞峰 ;

刘杰 ;

施成亮 ;

江嘉 ;

周海龙 .

中国专利 :CN111621760A ,2020-09-04

[9]

磁控溅射镀膜阴极装置 [P].

白振中 ;

江少华 .

中国专利 :CN101812667A ,2010-08-25

[10]

一种磁控溅射旋转阴极结构 [P].

胡超川 ;

傅强 ;

朱磊 ;

毛祖攀 .

中国专利 :CN221918205U ,2024-10-29

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