磁控溅射用的旋转阴极磁棒

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010619377.0

申请日：

2020-06-30

公开(公告)号：

CN111621760A

公开(公告)日：

2020-09-04

发明(设计)人：

来华杭俞峰刘杰施成亮江嘉周海龙

申请人：

申请人地址：

312366 浙江省绍兴市滨海新城畅和路7号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

杭州合信专利代理事务所(普通合伙) 33337

代理人：

沈自军

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20200630
2020-09-04	公开	公开

共 50 条

[1]

磁控溅射用的旋转阴极磁棒及磁控管 [P].

周振国 ;

杨肸曦 ;

彭孝龙 ;

张永胜 ;

董刚强 ;

莫超超 ;

解传佳 ;

梁得刚 .

中国专利 :CN217459573U ,2022-09-20

[2]

磁控溅射旋转阴极 [P].

李忠 .

中国专利 :CN213086094U ,2021-04-30

[3]

一种磁棒组件、磁控溅射旋转阴极和磁控溅射镀膜设备 [P].

郭江涛 ;

游锦山 .

中国专利 :CN119530741B ,2025-04-22

[4]

一种磁棒组件、磁控溅射旋转阴极和磁控溅射镀膜设备 [P].

郭江涛 ;

游锦山 .

中国专利 :CN119530741A ,2025-02-28

[5]

磁控溅射系统的旋转阴极 [P].

D.T.克劳利 ;

M.L.尼尔 .

中国专利 :CN103917690A ,2014-07-09

[6]

磁控溅射装置用的旋转阴极单元 [P].

斋藤修司 .

中国专利 :CN107614743B ,2018-01-19

[7]

旋转阴极磁场磁控溅射装置 [P].

张晓军 ;

龚文志 .

中国专利 :CN308485241S ,2024-02-23

[8]

磁控溅射旋转阴极支撑端头 [P].

陈诚 ;

张少波 ;

刘月豹 ;

钟汝梅 ;

任丹 ;

孔德辉 .

中国专利 :CN205241784U ,2016-05-18

[9]

磁控溅射旋转阴极支撑端头 [P].

陈诚 ;

张少波 ;

刘月豹 ;

钟汝梅 ;

任丹 ;

孔德辉 .

中国专利 :CN105401126A ,2016-03-16

[10]

一种磁控溅射用旋转阴极 [P].

张君春 ;

孙法鋆 ;

卞勇 ;

方赟 .

中国专利 :CN212335275U ,2021-01-12

← 1 2 3 4 5 →