一种磁棒组件、磁控溅射旋转阴极和磁控溅射镀膜设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510097043.4

申请日：

2025-01-22

公开(公告)号：

CN119530741A

公开(公告)日：

2025-02-28

发明(设计)人：

郭江涛游锦山

申请人：

中科纳微真空科技（合肥）有限公司

申请人地址：

230088 安徽省合肥市高新区习友路1799号4幢1层和2层

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

代理机构：

合肥金律专利代理事务所(普通合伙) 34184

代理人：

段晓微

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-22	授权	授权
2025-03-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20250122
2025-02-28	公开	公开

共 50 条

[1]

一种磁棒组件、磁控溅射旋转阴极和磁控溅射镀膜设备 [P].

郭江涛 ;

游锦山 .

中国专利 :CN119530741B ,2025-04-22

[2]

磁控溅射镀膜设备和磁控溅射镀膜方法 [P].

杨伟顺 ;

蒙峻 ;

蔺晓建 ;

马向利 ;

张晓鹰 .

中国专利 :CN107794496A ,2018-03-13

[3]

旋转阴极和真空磁控溅射镀膜设备 [P].

盛林 ;

高文波 .

中国专利 :CN209144248U ,2019-07-23

[4]

磁控溅射镀膜阴极装置 [P].

白振中 ;

江少华 .

中国专利 :CN101812667A ,2010-08-25

[5]

磁控溅射用的旋转阴极磁棒 [P].

来华杭 ;

俞峰 ;

刘杰 ;

施成亮 ;

江嘉 ;

周海龙 .

中国专利 :CN111621760A ,2020-09-04

[6]

一种磁控溅射镀膜设备、旋转阴极及在线可调磁棒 [P].

郭江涛 ;

游锦山 .

中国专利 :CN120210752B ,2025-09-23

[7]

一种磁控溅射镀膜设备、旋转阴极及在线可调磁棒 [P].

郭江涛 ;

游锦山 .

中国专利 :CN120210752A ,2025-06-27

[8]

磁控溅射旋转阴极 [P].

李忠 .

中国专利 :CN213086094U ,2021-04-30

[9]

一种旋转阴极磁控溅射镀膜单元 [P].

孙伟明 ;

眭凌杰 ;

吴景权 ;

伊伙根 ;

郭振浩 .

中国专利 :CN217127521U ,2022-08-05

[10]

磁控溅射镀膜设备用旋转装置及磁控溅射镀膜设备 [P].

田杰成 ;

李俊 .

中国专利 :CN215517615U ,2022-01-14

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