晶圆减薄结构

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专利类型
实用新型
申请号
CN201420045384.4
申请日
2014-01-24
公开(公告)号
CN203733801U
公开(公告)日
2014-07-23
发明(设计)人
施建根
申请人
申请人地址
226006 江苏省南通市崇川区崇川路288号
IPC主分类号
H01L2906
IPC分类号
代理机构
北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435
代理人
孟阿妮
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
晶圆减薄设备 [P]. 
周至军 ;
高英哲 ;
张文福 ;
吕慧超 .
中国专利 :CN209766373U ,2019-12-10
[2]
晶圆减薄装置 [P]. 
吴俊逸 ;
沈凌寒 .
中国专利 :CN220740470U ,2024-04-09
[3]
晶圆减薄方法 [P]. 
施林波 ;
陈福成 ;
刘尧 .
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[4]
圆片级封装工艺晶圆减薄结构 [P]. 
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[5]
晶圆加工减薄机 [P]. 
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[6]
晶圆的减薄方法 [P]. 
祁玉发 ;
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姜剑光 ;
时家淳 ;
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段亦峰 ;
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[7]
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尤国振 ;
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锁志勇 ;
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[8]
晶圆清洗装置及晶圆减薄设备 [P]. 
万先进 ;
单保淋 ;
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田鑫 ;
朱松 ;
张怀东 ;
边逸军 .
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[9]
半导体晶圆减薄装置 [P]. 
郭其俊 ;
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[10]
晶圆减薄装置及系统 [P]. 
王飞 ;
于志强 ;
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中国专利 :CN223700274U ,2025-12-23