晶圆减薄设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920598026.9

申请日：

2019-04-28

公开(公告)号：

CN209766373U

公开(公告)日：

2019-12-10

发明(设计)人：

周至军高英哲张文福吕慧超

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677 H01L21687

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-10	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆减薄设备和减薄方法 [P].

张力飞 ;

路新春 ;

张丛 ;

姬明 .

中国专利 :CN121018330A ,2025-11-28

[2]

晶圆搬运机构及晶圆减薄设备 [P].

万先进 ;

梁志远 ;

韦俊丞 ;

尤国振 ;

朱松 ;

张怀东 ;

锁志勇 ;

袁峰 ;

边逸军 .

中国专利 :CN222530406U ,2025-02-25

[3]

晶圆清洗装置及晶圆减薄设备 [P].

万先进 ;

单保淋 ;

王冬冬 ;

田鑫 ;

朱松 ;

张怀东 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220672529U ,2024-03-26

[4]

晶圆减薄结构 [P].

施建根 .

中国专利 :CN203733801U ,2014-07-23

[5]

晶圆减薄工艺 [P].

王勇威 ;

周立庆 ;

夏楠君 ;

黄鑫亮 ;

亢喆 .

中国专利 :CN109742017B ,2019-05-10

[6]

晶圆减薄方法 [P].

邢家明 ;

洪齐元 .

中国专利 :CN102825541A ,2012-12-19

[7]

晶圆减薄方法 [P].

王娉婷 .

中国专利 :CN106158580A ,2016-11-23

[8]

晶圆减薄装置 [P].

吴俊逸 ;

沈凌寒 .

中国专利 :CN220740470U ,2024-04-09

[9]

晶圆减薄设备及用于晶圆减薄设备的主轴倾角调节机构 [P].

曹心想 ;

杜梦嘉 ;

张秋峰 ;

李永康 ;

吕鹏 .

中国专利 :CN222831536U ,2025-05-06

[10]

晶圆背面减薄方法及晶圆背面减薄装置 [P].

苏亚青 ;

张守龙 ;

季芝慧 ;

谭秀文 ;

叶斐 ;

陈裕 .

中国专利 :CN112349579A ,2021-02-09

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