一种PECVD石墨舟碳化硅饱和处理工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911277408.2

申请日：

2019-12-13

公开(公告)号：

CN112992744A

公开(公告)日：

2021-06-18

发明(设计)人：

景彦姣王朋林海峰

申请人：

申请人地址：

471000 河南省洛阳市偃师市工业区

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L3118 C23C1632 C23C16515 C30B2500

代理机构：

洛阳高智达知识产权代理事务所(普通合伙) 41169

代理人：

李世平

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20191213
2021-06-18	公开	公开

共 50 条

[1]

一种石墨舟饱和处理工艺 [P].

陈跃 ;

陈树同 ;

张宗阳 ;

刘亚新 .

中国专利 :CN102280396B ,2011-12-14

[2]

一种石墨表面碳化硅渗透处理工艺 [P].

卢亚春 ;

张华 ;

郑方渊 .

中国专利 :CN107141023A ,2017-09-08

[3]

一种避免PECVD工序中石墨舟印的处理工艺 [P].

朱海荣 ;

彭平 ;

夏中高 ;

李旭杰 ;

杨雄磊 .

中国专利 :CN110449409A ,2019-11-15

[4]

一种碳化硅舟 [P].

姚民利 ;

刘炜 ;

刘飞 ;

王兴龙 ;

皇甫丙臣 ;

赵金 .

中国专利 :CN212182285U ,2020-12-18

[5]

一种碳化硅微粉的处理工艺 [P].

黄立军 .

中国专利 :CN103950931A ,2014-07-30

[6]

一种碳化硅微粉筛分处理工艺 [P].

余致权 .

中国专利 :CN114850018A ,2022-08-05

[7]

碳化硅微粉的分级处理工艺 [P].

刘苏宁 ;

孙宁磊 ;

秦丽娟 ;

王霄 ;

李明川 ;

彭建华 .

中国专利 :CN107983526A ,2018-05-04

[8]

一种碳化硅轴套的表面处理工艺 [P].

许卫东 .

中国专利 :CN112496890A ,2021-03-16

[9]

一种碳化硅粉表面处理工艺方法 [P].

刘海洋 ;

牛仕龙 ;

牛小城 .

中国专利 :CN103922756A ,2014-07-16

[10]

一种碳化硅粉表面处理工艺方法 [P].

朱广彬 .

中国专利 :CN111620341A ,2020-09-04

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