一种避免PECVD工序中石墨舟印的处理工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910751913.X

申请日：

2019-08-15

公开(公告)号：

CN110449409A

公开(公告)日：

2019-11-15

发明(设计)人：

朱海荣彭平夏中高李旭杰杨雄磊

申请人：

申请人地址：

461700 河南省许昌市襄城县产业集聚区(襄业路中段）

IPC主分类号：

B08B502

IPC分类号：

H01L21673 H01L3118

代理机构：

郑州科维专利代理有限公司 41102

代理人：

王理君

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 5/02 申请日:20190815
2019-11-15	公开	公开

共 50 条

[1]

一种PECVD工序中镀膜膜厚偏薄片的处理工艺 [P].

陈伟兵 ;

彭平 ;

夏中高 ;

顾鹏 .

中国专利 :CN107623051B ,2018-01-23

[2]

一种PECVD石墨舟碳化硅饱和处理工艺 [P].

景彦姣 ;

王朋 ;

林海峰 .

中国专利 :CN112992744A ,2021-06-18

[3]

用于PECVD工序中承载石墨舟的推车 [P].

程建松 .

中国专利 :CN202196805U ,2012-04-18

[4]

一种用于改善石墨舟EL黑边的烘舟工艺 [P].

章特 ;

刘伟 ;

黄明 ;

邱联辉 .

中国专利 :CN120608274A ,2025-09-09

[5]

一种石墨舟饱和处理工艺 [P].

陈跃 ;

陈树同 ;

张宗阳 ;

刘亚新 .

中国专利 :CN102280396B ,2011-12-14

[6]

一种解决石墨舟镀膜工艺中膜厚异常的方法及石墨舟镀膜工艺方法 [P].

杜敬良 ;

庄艳 ;

金礼发 ;

黄国平 ;

李菁楠 .

中国专利 :CN111218673A ,2020-06-02

[7]

一种石墨舟的清洗工艺 [P].

徐云飞 ;

常松山 ;

丁钧 ;

孙樵 ;

纪牟赫 .

中国专利 :CN103521473A ,2014-01-22

[8]

一种基于管式PECVD的石墨舟风冷系统 [P].

张浩 ;

冯超 ;

谢毅 .

中国专利 :CN109811330A ,2019-05-28

[9]

用于PECVD工序的石墨舟运载车 [P].

程建松 .

中国专利 :CN202214416U ,2012-05-09

[10]

用于晶硅太阳能电池PECVD工序的石墨舟卡点 [P].

支凯飞 ;

杨辉 ;

李伟乐 .

中国专利 :CN206148412U ,2017-05-03

← 1 2 3 4 5 →