用于PECVD工序中承载石墨舟的推车

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120337179.1

申请日：

2011-09-08

公开(公告)号：

CN202196805U

公开(公告)日：

2012-04-18

发明(设计)人：

程建松

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新区新华路12号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

代理机构：

北京金信立方知识产权代理有限公司 11225

代理人：

黄威;胡上海

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20110908 授权公告日:20120418 终止日期:20160908
2012-04-18	授权	授权

共 50 条

[1]

用于PECVD工序的石墨舟运载车 [P].

程建松 .

中国专利 :CN202214416U ,2012-05-09

[2]

用于PECVD设备的石墨舟及PECVD设备 [P].

李时俊 ;

杨宝立 ;

王凯 ;

林金雨 .

中国专利 :CN217026072U ,2022-07-22

[3]

用于晶硅太阳能电池PECVD工序的石墨舟卡点 [P].

支凯飞 ;

杨辉 ;

李伟乐 .

中国专利 :CN206148412U ,2017-05-03

[4]

一种避免PECVD工序中石墨舟印的处理工艺 [P].

朱海荣 ;

彭平 ;

夏中高 ;

李旭杰 ;

杨雄磊 .

中国专利 :CN110449409A ,2019-11-15

[5]

石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备 [P].

邓金生 ;

王凯 ;

赵峰 ;

李操政 .

中国专利 :CN210394518U ,2020-04-24

[6]

PECVD石墨舟用石墨钉 [P].

鲁科 ;

乔琦 ;

陆红艳 ;

黄海涛 ;

陈如龙 .

中国专利 :CN204417588U ,2015-06-24

[7]

一种用于石墨舟的隔离环、石墨舟以及PECVD设备 [P].

刘庆平 ;

丁超 ;

董广斌 ;

童洪波 .

中国专利 :CN221094282U ,2024-06-07

[8]

一种用于PECVD石墨舟的自动搬舟装置 [P].

王镇 .

中国专利 :CN208938950U ,2019-06-04

[9]

石墨舟及具有该石墨舟的管式PECVD设备 [P].

陈曦 ;

张达奇 ;

熊光涌 .

中国专利 :CN209636315U ,2019-11-15

[10]

防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架 [P].

王平 ;

周天贤 ;

张军虎 .

中国专利 :CN204151412U ,2015-02-11

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