一种石墨舟饱和处理工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110270015.6

申请日：

2011-09-14

公开(公告)号：

CN102280396B

公开(公告)日：

2011-12-14

发明(设计)人：

陈跃陈树同张宗阳刘亚新

申请人：

申请人地址：

214400 江苏省无锡市江阴市新桥镇工业园区

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L21205

代理机构：

江阴市永兴专利事务所(普通合伙) 32240

代理人：

达晓玲;詹世平

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-12-14	公开	公开
2018-09-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20110914 授权公告日:20130410 终止日期:20170914
2012-04-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101229716276 IPC(主分类):H01L 21/673 专利申请号:2011102700156 申请日:20110914
2013-04-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种PECVD石墨舟碳化硅饱和处理工艺 [P].

景彦姣 ;

王朋 ;

林海峰 .

中国专利 :CN112992744A ,2021-06-18

[2]

石墨舟饱和工艺 [P].

程平 ;

朱露 ;

张凯胜 ;

姚伟忠 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN109183000B ,2019-01-11

[3]

一种石墨舟饱和工艺 [P].

邢显邦 ;

李海波 .

中国专利 :CN113136558A ,2021-07-20

[4]

一种避免PECVD工序中石墨舟印的处理工艺 [P].

朱海荣 ;

彭平 ;

夏中高 ;

李旭杰 ;

杨雄磊 .

中国专利 :CN110449409A ,2019-11-15

[5]

一种石墨舟的饱和沉积工艺 [P].

蔡二辉 ;

陈筑 ;

刘晓巍 ;

吴前进 ;

俞军 ;

余震杰 .

中国专利 :CN114361084A ,2022-04-15

[6]

一种石墨舟饱和的工艺方法 [P].

胡茂界 ;

丁晨 ;

陈刚 .

中国专利 :CN111118479A ,2020-05-08

[7]

一种石墨舟饱和双层膜结构及镀膜工艺和石墨舟 [P].

沈磊磊 ;

董敬桃 ;

丁建明 ;

崔钟亨 .

中国专利 :CN107564844A ,2018-01-09

[8]

一种石墨舟饱和方法 [P].

张进伟 ;

赵鹏飞 ;

王德昌 .

中国专利 :CN121137551A ,2025-12-16

[9]

一种饱和用管式PECVD石墨舟 [P].

俞亚东 ;

党继东 ;

袁中存 .

中国专利 :CN205789903U ,2016-12-07

[10]

一种石墨舟的饱和方法 [P].

郭文祥 .

中国专利 :CN105112888B ,2015-12-02

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