一种石墨舟的饱和沉积工艺

被引：0

申请号：

CN202111576086.9

申请日：

2021-12-22

公开(公告)号：

CN114361084A

公开(公告)日：

2022-04-15

发明(设计)人：

蔡二辉陈筑刘晓巍吴前进俞军余震杰

申请人：

申请人地址：

315000 浙江省宁波市海曙区望春工业园区杉杉路181-197号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

宁波甬致专利代理有限公司 33228

代理人：

高瑞霞

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-15	公开	公开
2022-05-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20211222

共 50 条

[1]

一种石墨舟饱和的工艺方法 [P].

胡茂界 ;

丁晨 ;

陈刚 .

中国专利 :CN111118479A ,2020-05-08

[2]

石墨舟饱和工艺 [P].

程平 ;

朱露 ;

张凯胜 ;

姚伟忠 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN109183000B ,2019-01-11

[3]

一种石墨舟饱和工艺 [P].

邢显邦 ;

李海波 .

中国专利 :CN113136558A ,2021-07-20

[4]

一种石墨舟饱和绝缘的装置 [P].

张蒙 ;

张招辉 .

中国专利 :CN209561354U ,2019-10-29

[5]

石墨舟饱和膜层结构及PERC太阳能电池用的石墨舟 [P].

逯承承 ;

赵小平 ;

杨二存 ;

时宝 ;

林纲正 ;

陈刚 .

中国专利 :CN215163120U ,2021-12-14

[6]

一种PECVD石墨舟碳化硅饱和处理工艺 [P].

景彦姣 ;

王朋 ;

林海峰 .

中国专利 :CN112992744A ,2021-06-18

[7]

一种石墨舟饱和处理工艺 [P].

陈跃 ;

陈树同 ;

张宗阳 ;

刘亚新 .

中国专利 :CN102280396B ,2011-12-14

[8]

适用于PECVD沉积隧穿多晶层工艺的石墨舟饱和方法及应用 [P].

林朝晖 ;

黄晓狄 ;

张超华 ;

林锦山 ;

杨清霖 ;

俞贵福 ;

陈有鹏 .

中国专利 :CN119433493A ,2025-02-14

[9]

适用于PECVD沉积隧穿多晶层工艺的石墨舟饱和方法及应用 [P].

林朝晖 ;

黄晓狄 ;

张超华 ;

林锦山 ;

杨清霖 ;

俞贵福 ;

陈有鹏 .

中国专利 :CN119433493B ,2025-04-18

[10]

一种用于饱和石墨舟的夹具 [P].

张春华 ;

陈佳男 ;

衡阳 ;

郑旭然 ;

李栋 ;

邢国强 .

中国专利 :CN205944057U ,2017-02-08

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