适用于PECVD沉积隧穿多晶层工艺的石墨舟饱和方法及应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510046310.5

申请日：

2025-01-13

公开(公告)号：

CN119433493B

公开(公告)日：

2025-04-18

发明(设计)人：

林朝晖黄晓狄张超华林锦山杨清霖俞贵福陈有鹏

申请人：

福建金石能源有限公司

申请人地址：

362200 福建省泉州市晋江市经济开发区（五里园）泉源路17号

IPC主分类号：

C23C16/34

IPC分类号：

C23C16/56 C23C16/40 C23C16/458 C23C16/50 C30B28/14 C30B29/06 H01L21/673 H10F71/00 H10F77/30 H10F10/00

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

赵亚楠

法律状态：

授权

国省代码：

福建省泉州市

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共 50 条

[1]

适用于PECVD沉积隧穿多晶层工艺的石墨舟饱和方法及应用 [P].

林朝晖 ;

黄晓狄 ;

张超华 ;

林锦山 ;

杨清霖 ;

俞贵福 ;

陈有鹏 .

中国专利 :CN119433493A ,2025-02-14

[2]

一种石墨舟的饱和沉积工艺 [P].

蔡二辉 ;

陈筑 ;

刘晓巍 ;

吴前进 ;

俞军 ;

余震杰 .

中国专利 :CN114361084A ,2022-04-15

[3]

一种采用PECVD法制备隧穿氧化层所用石墨舟的清洗工艺 [P].

刘兆彬 ;

黄辉巍 ;

谢超凡 .

中国专利 :CN117619847A ,2024-03-01

[4]

一种适用于管式PECVD沉积工艺的镀膜陪片 [P].

袁中存 ;

党继东 .

中国专利 :CN206225382U ,2017-06-06

[5]

一种适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟 [P].

俞亚东 ;

党继东 .

中国专利 :CN206015086U ,2017-03-15

[6]

一种适用于管式PECVD的石墨舟 [P].

袁中存 ;

党继东 .

中国专利 :CN206148411U ,2017-05-03

[7]

用于PECVD设备的石墨舟及PECVD设备 [P].

李时俊 ;

杨宝立 ;

王凯 ;

林金雨 .

中国专利 :CN217026072U ,2022-07-22

[8]

石墨舟饱和膜层结构及PERC太阳能电池用的石墨舟 [P].

逯承承 ;

赵小平 ;

杨二存 ;

时宝 ;

林纲正 ;

陈刚 .

中国专利 :CN215163120U ,2021-12-14

[9]

一种用于多晶太阳能电池的石墨舟饱和工艺 [P].

贾宇龙 ;

王森涛 ;

焦朋府 ;

杨飞飞 ;

崔龙辉 ;

杨进 .

中国专利 :CN109786502A ,2019-05-21

[10]

一种石墨舟饱和的工艺方法 [P].

胡茂界 ;

丁晨 ;

陈刚 .

中国专利 :CN111118479A ,2020-05-08

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-18	授权	授权
2025-11-04	专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更	专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更IPC(主分类):C23C 16/34变更事项:专利权人变更前:福建金石能源有限公司变更后:福建省金石能源股份有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:362200 福建省泉州市晋江市经济开发区（五里园）泉源路17号变更后:362200 福建省泉州市晋江市经济开发区（五里园）泉源路17号
2025-03-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/34申请日:20250113
2025-02-14	公开	公开