电子束物理气相沉积用氧化锆基陶瓷靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610875896.7

申请日：

2016-09-30

公开(公告)号：

CN106518065B

公开(公告)日：

2017-03-22

发明(设计)人：

何箐邹晗吕玉芬王世兴王伟平

申请人：

申请人地址：

100083 北京市朝阳区德胜门外北沙滩1号

IPC主分类号：

C04B3549

IPC分类号：

C04B35622 C04B35634 B28B300

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

梁挥;鲍俊萍

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-03-22	公开	公开
2019-10-01	授权	授权
2017-04-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101714024261 IPC(主分类):C04B 35/49 专利申请号:2016108758967 申请日:20160930

共 50 条

[1]

一种电子束物理气相沉积用稳定氧化锆陶瓷靶材及制备方法 [P].

宋希文 ;

谢敏 ;

包金小 ;

周芬 ;

安胜利 .

中国专利 :CN103936415B ,2014-07-23

[2]

一种电子束物理气相沉积用稳定氧化锆陶瓷靶材的制备方法 [P].

韩委委 ;

李鑫 ;

范红娜 ;

李敏敏 ;

齐长见 .

中国专利 :CN119263821A ,2025-01-07

[3]

一种电子束物理气相沉积用锆酸镧基陶瓷靶材及其制备方法 [P].

谢敏 ;

宋希文 ;

郜建全 ;

安胜利 ;

包金小 ;

周芬 ;

张永和 ;

郭文荣 .

中国专利 :CN107903060A ,2018-04-13

[4]

高均匀性、短流程电子束物理气相沉积热障涂层用陶瓷靶材制备方法 [P].

何箐 ;

邹晗 ;

王世兴 .

中国专利 :CN108358648A ,2018-08-03

[5]

一种实现电子束物理气相沉积自动蒸发陶瓷靶材的装置 [P].

彭徽 ;

滕晓丹 ;

王博 ;

郭洪波 ;

宫声凯 .

中国专利 :CN111607762B ,2020-09-01

[6]

热障涂层用大尺寸氧化锆陶瓷靶材的制备方法 [P].

岳鑫 ;

肖飞 ;

吕延庆 ;

许壮志 ;

薛健 ;

张明 .

中国专利 :CN109721356A ,2019-05-07

[7]

电子束物理气相沉积板材拉伸试样的制备方法 [P].

武洪臣 ;

雷新更 ;

姜春竹 ;

高巍 ;

苏云亮 ;

刘强军 .

中国专利 :CN103499474B ,2014-01-08

[8]

一种电子束物理气相沉积测温方法 [P].

盛刚 ;

火克莉 ;

向昕 .

中国专利 :CN108168722A ,2018-06-15

[9]

超厚电子束物理气相沉积热障涂层的制备方法 [P].

何箐 ;

王世兴 ;

李建超 ;

葛超 ;

李延军 .

中国专利 :CN114717519A ,2022-07-08

[10]

电子束物理气相沉积制备软磁与陶瓷纳米复合薄膜的制造方法 [P].

毕晓昉 ;

宫声凯 ;

徐惠彬 .

中国专利 :CN1265017C ,2003-03-19

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