一种电子束物理气相沉积用锆酸镧基陶瓷靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711308939.4

申请日：

2017-12-11

公开(公告)号：

CN107903060A

公开(公告)日：

2018-04-13

发明(设计)人：

谢敏宋希文郜建全安胜利包金小周芬张永和郭文荣

申请人：

申请人地址：

014000 内蒙古自治区包头市昆都仑区阿尔丁大街7号

IPC主分类号：

C04B3550

IPC分类号：

C04B35622

代理机构：

北京高沃律师事务所 11569

代理人：

刘奇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-13	公开	公开
2018-05-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/50 申请日:20171211
2020-01-31	授权	授权

共 50 条

[1]

电子束物理气相沉积用氧化锆基陶瓷靶材及其制备方法 [P].

何箐 ;

邹晗 ;

吕玉芬 ;

王世兴 ;

王伟平 .

中国专利 :CN106518065B ,2017-03-22

[2]

一种电子束物理气相沉积用稳定氧化锆陶瓷靶材及制备方法 [P].

宋希文 ;

谢敏 ;

包金小 ;

周芬 ;

安胜利 .

中国专利 :CN103936415B ,2014-07-23

[3]

一种电子束物理气相沉积用稳定氧化锆陶瓷靶材的制备方法 [P].

韩委委 ;

李鑫 ;

范红娜 ;

李敏敏 ;

齐长见 .

中国专利 :CN119263821A ,2025-01-07

[4]

一种实现电子束物理气相沉积自动蒸发陶瓷靶材的装置 [P].

彭徽 ;

滕晓丹 ;

王博 ;

郭洪波 ;

宫声凯 .

中国专利 :CN111607762B ,2020-09-01

[5]

高均匀性、短流程电子束物理气相沉积热障涂层用陶瓷靶材制备方法 [P].

何箐 ;

邹晗 ;

王世兴 .

中国专利 :CN108358648A ,2018-08-03

[6]

一种电子束物理气相沉积测温方法 [P].

盛刚 ;

火克莉 ;

向昕 .

中国专利 :CN108168722A ,2018-06-15

[7]

电子束物理气相沉积板材拉伸试样的制备方法 [P].

武洪臣 ;

雷新更 ;

姜春竹 ;

高巍 ;

苏云亮 ;

刘强军 .

中国专利 :CN103499474B ,2014-01-08

[8]

超厚电子束物理气相沉积热障涂层的制备方法 [P].

何箐 ;

王世兴 ;

李建超 ;

葛超 ;

李延军 .

中国专利 :CN114717519A ,2022-07-08

[9]

一种用于电子束物理气相沉积制备涂层的夹具 [P].

邹卓 ;

王璐 ;

张佳平 .

中国专利 :CN204281853U ,2015-04-22

[10]

一种电子束物理气相沉积微米多层复合膜及其制备方法 [P].

陈喜锋 ;

魏刚 ;

王佐平 ;

刘洲超 ;

刘海涛 ;

张佳 ;

张伟强 ;

杨艳 ;

张镜斌 .

中国专利 :CN109666900A ,2019-04-23

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