一种电子束物理气相沉积微米多层复合膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811505719.5

申请日：

2018-12-10

公开(公告)号：

CN109666900A

公开(公告)日：

2019-04-23

发明(设计)人：

陈喜锋魏刚王佐平刘洲超刘海涛张佳张伟强杨艳张镜斌

申请人：

申请人地址：

713102 陕西省咸阳市兴平市西城区金城路西段

IPC主分类号：

C23C1430

IPC分类号：

C23C1402 C23C1416 C23C1408 C23C1458 C23C800

代理机构：

西安弘理专利事务所 61214

代理人：

曾庆喜

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-10	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/30 申请公布日:20190423
2019-04-23	公开	公开
2019-05-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/30 申请日:20181210

共 50 条

[1]

一种电子束物理气相沉积测温方法 [P].

盛刚 ;

火克莉 ;

向昕 .

中国专利 :CN108168722A ,2018-06-15

[2]

超厚电子束物理气相沉积热障涂层的制备方法 [P].

何箐 ;

王世兴 ;

李建超 ;

葛超 ;

李延军 .

中国专利 :CN114717519A ,2022-07-08

[3]

电子束物理气相沉积制备软磁与陶瓷纳米复合薄膜的制造方法 [P].

毕晓昉 ;

宫声凯 ;

徐惠彬 .

中国专利 :CN1265017C ,2003-03-19

[4]

电子束物理气相沉积板材拉伸试样的制备方法 [P].

武洪臣 ;

雷新更 ;

姜春竹 ;

高巍 ;

苏云亮 ;

刘强军 .

中国专利 :CN103499474B ,2014-01-08

[5]

一种电子束物理气相沉积装置及工件涂层制备方法 [P].

许海鹰 ;

桑兴华 ;

崔向中 ;

姜春竹 ;

邢一思 ;

左从进 ;

周国栋 ;

王永锋 .

中国专利 :CN105483623A ,2016-04-13

[6]

一种用于电子束物理气相沉积制备涂层的夹具 [P].

邹卓 ;

王璐 ;

张佳平 .

中国专利 :CN204281853U ,2015-04-22

[7]

一种电子束物理气相沉积EB-PVD制备热障涂层装置及方法 [P].

赵俊伟 ;

盛刚 ;

黄健 ;

刘黎 ;

张松林 .

中国专利 :CN119040812A ,2024-11-29

[8]

一种电子束物理气相沉积EB-PVD制备热障涂层装置及方法 [P].

赵俊伟 ;

盛刚 ;

黄健 ;

刘黎 ;

张松林 .

中国专利 :CN119040812B ,2025-01-28

[9]

一种用电子束物理气相沉积制备纳米多层高阻抗软磁材料及其方法 [P].

毕晓昉 ;

宫声凯 ;

徐惠彬 .

中国专利 :CN1131531C ,2002-07-17

[10]

一种用于电子束物理气相沉积制备热障涂层的夹持装置 [P].

彭徽 ;

滕晓丹 ;

王博 ;

郭洪波 ;

宫声凯 .

中国专利 :CN110760809B ,2020-02-07

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