电子束物理气相沉积制备软磁与陶瓷纳米复合薄膜的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN01142122.3

申请日：

2001-09-13

公开(公告)号：

CN1265017C

公开(公告)日：

2003-03-19

发明(设计)人：

毕晓昉宫声凯徐惠彬

申请人：

申请人地址：

100083北京市海淀区学院路37号

IPC主分类号：

C23C1430

IPC分类号：

代理机构：

北京慧泉知识产权代理有限公司

代理人：

王顺荣

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2002-02-27	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-11-12	专利权的终止(未缴年费专利权终止)	专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2006-07-19	授权	授权
2003-03-19	公开	公开
2003-05-28	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

超厚电子束物理气相沉积热障涂层的制备方法 [P].

何箐 ;

王世兴 ;

李建超 ;

葛超 ;

李延军 .

中国专利 :CN114717519A ,2022-07-08

[2]

电子束物理气相沉积板材拉伸试样的制备方法 [P].

武洪臣 ;

雷新更 ;

姜春竹 ;

高巍 ;

苏云亮 ;

刘强军 .

中国专利 :CN103499474B ,2014-01-08

[3]

一种电子束物理气相沉积微米多层复合膜及其制备方法 [P].

陈喜锋 ;

魏刚 ;

王佐平 ;

刘洲超 ;

刘海涛 ;

张佳 ;

张伟强 ;

杨艳 ;

张镜斌 .

中国专利 :CN109666900A ,2019-04-23

[4]

一种电子束物理气相沉积测温方法 [P].

盛刚 ;

火克莉 ;

向昕 .

中国专利 :CN108168722A ,2018-06-15

[5]

一种用电子束物理气相沉积制备纳米多层高阻抗软磁材料及其方法 [P].

毕晓昉 ;

宫声凯 ;

徐惠彬 .

中国专利 :CN1131531C ,2002-07-17

[6]

用电子束物理气相沉积多孔树枝晶陶瓷层的热障涂层方法 [P].

宫声凯 ;

魏秋利 ;

徐惠彬 .

中国专利 :CN100393909C ,2006-10-11

[7]

一种用于电子束物理气相沉积制备涂层的夹具 [P].

邹卓 ;

王璐 ;

张佳平 .

中国专利 :CN204281853U ,2015-04-22

[8]

电子束物理气相沉积用氧化锆基陶瓷靶材及其制备方法 [P].

何箐 ;

邹晗 ;

吕玉芬 ;

王世兴 ;

王伟平 .

中国专利 :CN106518065B ,2017-03-22

[9]

涡轮叶片涂层夹具装置及电子束物理气相沉积系统 [P].

洪智亮 ;

闫雪 .

中国专利 :CN204825040U ,2015-12-02

[10]

一种实现电子束物理气相沉积自动蒸发陶瓷靶材的装置 [P].

彭徽 ;

滕晓丹 ;

王博 ;

郭洪波 ;

宫声凯 .

中国专利 :CN111607762B ,2020-09-01

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