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基板输送装置及基板加工装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811435190.4
申请日：
2018-11-28
公开(公告)号：
CN110027909A
公开(公告)日：
2019-07-19
发明(设计)人：
中田胜喜 谷垣内平道
申请人：
申请人地址：
日本大阪府
IPC主分类号：
B65G4906
IPC分类号：
代理机构：
北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413
代理人：
袁波;刘继富
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2019-07-19 公开 公开
2021-05-25 发明专利申请公布后的视为撤回 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B65G 49/06 申请公布日:20190719
共 50 条
[1]
基板加工装置 [P]. 
得永直 .
中国专利 :CN105541096A ,2016-05-04
[2]
基板加工装置 [P]. 
得永直 .
中国专利 :CN105541093A ,2016-05-04
[3]
基板加工方法及基板加工装置 [P]. 
苏宇航 ;
前田宪一 .
中国专利 :CN112296542A ,2021-02-02
[4]
基板加工方法、基板加工装置、基板输送方法、基板输送机构 [P]. 
冈岛康智 ;
中田胜喜 .
中国专利 :CN1890074A ,2007-01-03
[5]
基板加工装置 [P]. 
谷垣内平道 ;
中田胜喜 .
中国专利 :CN109571789A ,2019-04-05
[6]
基板加工装置 [P]. 
中田胜喜 ;
谷垣内平道 .
中国专利 :CN110027118A ,2019-07-19
[7]
基板加工装置及基板加工方法 [P]. 
中谷郁祥 ;
岩坪佑磨 .
中国专利 :CN102649199B ,2012-08-29
[8]
基板加工方法及基板加工装置 [P]. 
苏宇航 ;
前田宪一 ;
井上修一 .
中国专利 :CN112297251A ,2021-02-02
[9]
基板加工装置及基板加工方法 [P]. 
韩政勋 ;
黃喆周 ;
徐承勋 ;
李相敦 .
中国专利 :CN104380435B ,2015-02-25
[10]
基板加工装置及基板加工方法 [P]. 
金镇洛 .
中国专利 :CN110776250A ,2020-02-11
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