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基板加工方法及基板加工装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010687621.7
申请日：
2020-07-16
公开(公告)号：
CN112296542A
公开(公告)日：
2021-02-02
发明(设计)人：
苏宇航
前田宪一
申请人：
申请人地址：
日本大阪
IPC主分类号：
B23K2653
IPC分类号：
C03B3308
代理机构：
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240
代理人：
李丹
法律状态：
发明专利申请公布后的撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-23 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):B23K 26/53 申请公布日:20210202 |
| 2022-07-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B23K 26/53 申请日:20200716 |
| 2021-02-02 | 公开 | 公开 |