单晶硅片表面的处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210133682.4

申请日：

2012-05-03

公开(公告)号：

CN103382578A

公开(公告)日：

2013-11-06

发明(设计)人：

刘万学程明辉刘志坚王月王磊孙胜曲爽王长宇

申请人：

申请人地址：

136001 吉林省四平市烟厂路1118号

IPC主分类号：

C30B3310

IPC分类号：

代理机构：

吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204

代理人：

石岱

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-17	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101737360984 IPC(主分类):C30B 33/10 专利申请号:2012101336824 申请公布日:20131106
2013-11-06	公开	公开
2014-02-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101567137549 IPC(主分类):C30B 33/10 专利申请号:2012101336824 申请日:20120503

共 50 条

[1]

一种单晶硅片表面的处理方法 [P].

张范 ;

郑霈霆 ;

许佳平 ;

孙海杰 ;

郭瑶 ;

蒋方丹 ;

金浩 .

中国专利 :CN106328769A ,2017-01-11

[2]

单晶硅片 [P].

沈浩平 ;

李建弘 ;

危晨 ;

刘涛 ;

赵越 .

中国专利 :CN306223259S ,2020-12-11

[3]

一种类单晶硅片的表面处理方法 [P].

柯文杰 ;

顾夏斌 ;

杨世豪 .

中国专利 :CN111850699A ,2020-10-30

[4]

一种单晶硅片的预清洗方法 [P].

刘万学 ;

程明辉 ;

刘志坚 ;

侯丽艳 ;

强艳建 ;

韩丽 ;

侯文会 .

中国专利 :CN102719896A ,2012-10-10

[5]

单晶硅片及单晶硅片的处理方法 [P].

李厚 ;

陆爱军 ;

徐雪明 .

中国专利 :CN120060974A ,2025-05-30

[6]

单晶硅片碱抛清洗方法 [P].

衣玉林 .

中国专利 :CN109326683A ,2019-02-12

[7]

小角单晶硅片 [P].

陈鹏 ;

杨广宇 ;

陈丽芳 .

中国专利 :CN202443977U ,2012-09-19

[8]

太阳能电池单晶硅片绒面的制备方法 [P].

李同彩 ;

胡思福 ;

温才 ;

唐金龙 ;

李晓红 ;

刘德雄 ;

张军 .

中国专利 :CN103531656A ,2014-01-22

[9]

准单晶硅片清洗方法 [P].

石开明 ;

孙志刚 ;

刘茂华 ;

韩子强 ;

石坚 ;

吴继贤 ;

章建海 .

中国专利 :CN102806216A ,2012-12-05

[10]

一种清洗单晶硅片表面的方法 [P].

彭文强 ;

廖建刚 .

中国专利 :CN103681239B ,2014-03-26

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