单晶硅片碱抛清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811077772.X

申请日：

2018-09-16

公开(公告)号：

CN109326683A

公开(公告)日：

2019-02-12

发明(设计)人：

衣玉林

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山开发区前进东路帝宝金融大厦20楼

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

代理人：

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 31/18 申请公布日:20190212
2019-02-12	公开	公开
2021-02-12	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H01L 31/18 变更事项:申请人变更前:苏州润阳光伏科技有限公司变更后:江苏润阳新能源科技有限公司变更事项:地址变更前:215300 江苏省苏州市昆山开发区前进东路帝宝金融大厦20楼变更后:224000 江苏省盐城市经济技术开发区湘江路58号1幢101室
2021-02-12	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H01L 31/18 变更事项:申请人变更前:江苏润阳新能源科技有限公司变更后:江苏润阳新能源科技股份有限公司变更事项:地址变更前:224000 江苏省盐城市经济技术开发区湘江路58号1幢101室变更后:224000 江苏省盐城市经济技术开发区湘江路58号1幢101室
2019-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20180916

共 50 条

[1]

准单晶硅片清洗方法 [P].

石开明 ;

孙志刚 ;

刘茂华 ;

韩子强 ;

石坚 ;

吴继贤 ;

章建海 .

中国专利 :CN102806216A ,2012-12-05

[2]

一种单晶硅片的清洗方法 [P].

张春明 ;

张建伟 ;

王焕俊 .

中国专利 :CN101590476A ,2009-12-02

[3]

一种单晶硅片清洗方法 [P].

魏泽武 ;

王艺澄 ;

王友 .

中国专利 :CN111613519A ,2020-09-01

[4]

单晶硅片清洗制绒方法 [P].

刘露露 ;

衣玉林 ;

穆林森 .

中国专利 :CN108054236A ,2018-05-18

[5]

单晶硅片 [P].

沈浩平 ;

李建弘 ;

危晨 ;

刘涛 ;

赵越 .

中国专利 :CN306223259S ,2020-12-11

[6]

单晶硅片清洗装置 [P].

朱玲 ;

朱汪龙 ;

王兰 .

中国专利 :CN206271669U ,2017-06-20

[7]

单晶硅片清洗装置 [P].

曹建鸿 .

中国专利 :CN106955864A ,2017-07-18

[8]

单晶硅片清洗装置 [P].

牛龙 ;

王文 ;

童林剑 ;

张斌 ;

胡亚东 ;

董典谟 ;

樊帅 .

中国专利 :CN203508507U ,2014-04-02

[9]

一种清洗单晶硅片表面的方法 [P].

彭文强 ;

廖建刚 .

中国专利 :CN103681239B ,2014-03-26

[10]

一种单晶硅片制绒的清洗方法及单晶制绒设备 [P].

郭永刚 ;

高鹏 ;

张婷 ;

屈小勇 ;

林瀚琪 ;

倪玉凤 ;

陈璐 ;

代同光 ;

张治 .

中国专利 :CN104088018A ,2014-10-08

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