单晶硅片碱抛清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811077772.X

申请日：

2018-09-16

公开(公告)号：

CN109326683A

公开(公告)日：

2019-02-12

发明(设计)人：

衣玉林

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山开发区前进东路帝宝金融大厦20楼

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

代理人：

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 31/18 申请公布日:20190212
2019-02-12	公开	公开
2021-02-12	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H01L 31/18 变更事项:申请人变更前:苏州润阳光伏科技有限公司变更后:江苏润阳新能源科技有限公司变更事项:地址变更前:215300 江苏省苏州市昆山开发区前进东路帝宝金融大厦20楼变更后:224000 江苏省盐城市经济技术开发区湘江路58号1幢101室
2021-02-12	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H01L 31/18 变更事项:申请人变更前:江苏润阳新能源科技有限公司变更后:江苏润阳新能源科技股份有限公司变更事项:地址变更前:224000 江苏省盐城市经济技术开发区湘江路58号1幢101室变更后:224000 江苏省盐城市经济技术开发区湘江路58号1幢101室
2019-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20180916

共 50 条

[21]

超声波清洗单晶硅片方法及其装置 [P].

汪贵发 ;

楼春兰 ;

郑辉 ;

汪新平 .

中国专利 :CN100481324C ,2008-05-14

[22]

单晶硅片专用超声清洗装置 [P].

吕凤岗 ;

程林 ;

曹来福 ;

戴珍旭 ;

胡正田 .

中国专利 :CN206009340U ,2017-03-15

[23]

太阳能单晶硅片清洗液及清洗方法 [P].

薛晓敏 ;

孙翠枝 .

中国专利 :CN103464415B ,2013-12-25

[24]

一种单晶硅片清洗机及清洗单晶硅片的方法 [P].

缪云 .

中国专利 :CN114792641A ,2022-07-26

[25]

单晶硅片及单晶硅片的处理方法 [P].

李厚 ;

陆爱军 ;

徐雪明 .

中国专利 :CN120060974A ,2025-05-30

[26]

单晶硅片盒 [P].

钟平 .

中国专利 :CN204668284U ,2015-09-23

[27]

单晶硅片的清洗工艺 [P].

孙亮湖 .

中国专利 :CN102327882A ,2012-01-25

[28]

单晶硅片的清洗装置 [P].

邱小永 .

中国专利 :CN208495075U ,2019-02-15

[29]

一种单晶硅片衬底喷砂后清洗方法 [P].

张庆旭 ;

吴雄杰 ;

蒋慧 ;

代明明 ;

余水强 ;

欧亦峰 ;

李晓庭 ;

吕文静 ;

徐子洋 ;

朱建勇 .

中国专利 :CN117711911A ,2024-03-15

[30]

一种超大尺寸单晶硅片的清洗方法 [P].

王冬雪 ;

孙小杰 ;

王大伟 ;

黄磊 ;

郭成钢 .

中国专利 :CN110665893B ,2020-01-10

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