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单晶硅片碱抛清洗方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811077772.X
申请日：
2018-09-16
公开(公告)号：
CN109326683A
公开(公告)日：
2019-02-12
发明(设计)人：
衣玉林
申请人：
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山开发区前进东路帝宝金融大厦20楼
IPC主分类号：
H01L3118
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
代理人：
法律状态：
发明专利申请公布后的驳回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-04-08 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 31/18 申请公布日:20190212 |
| 2019-02-12 | 公开 | 公开 |
| 2021-02-12 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):H01L 31/18 变更事项:申请人 变更前:苏州润阳光伏科技有限公司 变更后:江苏润阳新能源科技有限公司 变更事项:地址 变更前:215300 江苏省苏州市昆山开发区前进东路帝宝金融大厦20楼 变更后:224000 江苏省盐城市经济技术开发区湘江路58号1幢101室 |
| 2021-02-12 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):H01L 31/18 变更事项:申请人 变更前:江苏润阳新能源科技有限公司 变更后:江苏润阳新能源科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前:224000 江苏省盐城市经济技术开发区湘江路58号1幢101室 变更后:224000 江苏省盐城市经济技术开发区湘江路58号1幢101室 |
| 2019-03-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20180916 |