一种单晶硅片预清洗液及其清洗方法

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专利类型
发明
申请号
CN201110349895.6
申请日
2011-11-08
公开(公告)号
CN103087850A
公开(公告)日
2013-05-08
发明(设计)人
高华 戴丽丽 周光华 李杏兵 田怡
申请人
申请人地址
201406 上海市奉贤区旗港路738号
IPC主分类号
C11D760
IPC分类号
C11D718 C11D706 B08B312
代理机构
上海世贸专利代理有限责任公司 31128
代理人
叶克英
法律状态
著录事项变更
国省代码
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共 50 条
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