一种单晶硅片低温清洗液及清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511011600.2

申请日：

2025-07-22

公开(公告)号：

CN120843198A

公开(公告)日：

2025-10-28

发明(设计)人：

张凤陈益冬赵淑云刘亮许坤

申请人：

苏州协鑫光伏科技有限公司

申请人地址：

215253 江苏省苏州市苏州高新区嘉陵路399

IPC主分类号：

C11D1/825

IPC分类号：

H01L21/02 H10F71/00 C11D1/00 C11D3/04 C11D3/10 C11D3/33 C11D3/20 C11D3/38 C11D11/00 C11D3/60 B08B11/00 B08B3/08 B08B3/12 B08B3/04 C11D1/72 C11D1/14

代理机构：

苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251

代理人：

陆金星

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省常州市

引用

下载

共 50 条

[1]

一种单晶硅片预清洗液及其清洗方法 [P].

高华 ;

戴丽丽 ;

周光华 ;

李杏兵 ;

田怡 .

中国专利 :CN103087850A ,2013-05-08

[2]

太阳能单晶硅片清洗液及清洗方法 [P].

薛晓敏 ;

孙翠枝 .

中国专利 :CN103464415B ,2013-12-25

[3]

一种硅片清洗液及使用该清洗液清洗硅片的方法 [P].

肖剑峰 ;

张晨 ;

吴叶军 ;

周体 .

中国专利 :CN101942365A ,2011-01-12

[4]

一种硅片清洗液及硅片清洗方法 [P].

刘长明 ;

金井升 ;

张昕宇 ;

金浩 .

中国专利 :CN108384667A ,2018-08-10

[5]

超薄单晶硅片用清洗组合物及其清洗方法 [P].

张凤 ;

陈益冬 ;

赵淑云 ;

刘亮 ;

许坤 ;

高宇 .

中国专利 :CN118389213A ,2024-07-26

[6]

硅片清洗添加剂、硅片清洗液及其应用 [P].

陈盼盼 ;

于胤 ;

杨勇 ;

章圆圆 .

中国专利 :CN112143590A ,2020-12-29

[7]

一种硅片清洗液 [P].

聂金根 .

中国专利 :CN102533470A ,2012-07-04

[8]

硅片清洗液及其清洗方法 [P].

李杰 .

中国专利 :CN101503650A ,2009-08-12

[9]

一种硅片清洗液 [P].

张小飞 .

中国专利 :CN107987982A ,2018-05-04

[10]

硅片清洗液 [P].

王禄宝 ;

王海庆 ;

王友 ;

路景刚 .

中国专利 :CN103695190B ,2014-04-02

← 1 2 3 4 5 →

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-28	公开	公开
2025-11-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C11D 1/825申请日:20250722