一种晶体硅片预清洗液及其预清洗工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110388677.3

申请日：

2011-11-30

公开(公告)号：

CN102403251A

公开(公告)日：

2012-04-04

发明(设计)人：

王永丰朱生宾刘光谢忠阳

申请人：

申请人地址：

230031 安徽省合肥市高新区天柱路5号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

广州知友专利商标代理有限公司 44104

代理人：

李海波

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-09-11	授权	授权
2012-04-04	公开	公开
2012-06-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101261913899 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2011103886773 申请日:20111130

共 50 条

[1]

一种单晶硅片预清洗液及其清洗方法 [P].

高华 ;

戴丽丽 ;

周光华 ;

李杏兵 ;

田怡 .

中国专利 :CN103087850A ,2013-05-08

[2]

一种单晶硅清洗液及预清洗工艺 [P].

陆海斌 ;

石劲超 .

中国专利 :CN102154711A ,2011-08-17

[3]

一种硅片清洗液、清洗设备及清洗工艺 [P].

王冬雪 ;

王永青 ;

崔伟 ;

郝勇 ;

侯建明 ;

张宇鹏 ;

刘茂峰 ;

李娜 ;

赵越 .

中国专利 :CN108441353A ,2018-08-24

[4]

一种去除晶体硅片金属离子污染的清洗液及其清洗工艺 [P].

上官泉元 ;

解观超 ;

刘金浩 ;

朱广东 ;

潘景伟 .

中国专利 :CN103013711A ,2013-04-03

[5]

硅片清洗液及其清洗方法 [P].

李杰 .

中国专利 :CN101503650A ,2009-08-12

[6]

硅片的脱胶预清洗工艺 [P].

陈宏 .

中国专利 :CN101693240A ,2010-04-14

[7]

硅片清洗添加剂、硅片清洗液及其应用 [P].

陈盼盼 ;

于胤 ;

杨勇 ;

章圆圆 .

中国专利 :CN112143590A ,2020-12-29

[8]

一种硅片清洗液 [P].

聂金根 .

中国专利 :CN102533470A ,2012-07-04

[9]

一种硅片清洗液 [P].

张小飞 .

中国专利 :CN107987982A ,2018-05-04

[10]

硅片清洗液 [P].

王禄宝 ;

王海庆 ;

王友 ;

路景刚 .

中国专利 :CN103695190B ,2014-04-02

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