一种单晶硅片的预清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110077736.5

申请日：

2011-03-30

公开(公告)号：

CN102719896A

公开(公告)日：

2012-10-10

发明(设计)人：

刘万学程明辉刘志坚侯丽艳强艳建韩丽侯文会

申请人：

申请人地址：

136001 吉林省四平市铁东区烟厂路1118号

IPC主分类号：

C30B3310

IPC分类号：

代理机构：

吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204

代理人：

石岱

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-01	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101745880368 IPC(主分类):C30B 33/10 专利申请号:2011100777365 申请公布日:20121010
2012-10-10	公开	公开
2014-01-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101564924349 IPC(主分类):C30B 33/10 专利申请号:2011100777365 申请日:20110330

共 50 条

[1]

单晶硅片表面的处理方法 [P].

刘万学 ;

程明辉 ;

刘志坚 ;

王月 ;

王磊 ;

孙胜 ;

曲爽 ;

王长宇 .

中国专利 :CN103382578A ,2013-11-06

[2]

一种单晶硅片的清洗方法 [P].

张春明 ;

张建伟 ;

王焕俊 .

中国专利 :CN101590476A ,2009-12-02

[3]

单晶硅片碱抛清洗方法 [P].

衣玉林 .

中国专利 :CN109326683A ,2019-02-12

[4]

准单晶硅片清洗方法 [P].

石开明 ;

孙志刚 ;

刘茂华 ;

韩子强 ;

石坚 ;

吴继贤 ;

章建海 .

中国专利 :CN102806216A ,2012-12-05

[5]

一种单晶硅片清洗机及清洗单晶硅片的方法 [P].

缪云 .

中国专利 :CN114792641A ,2022-07-26

[6]

单晶硅片的清洗工艺 [P].

孙亮湖 .

中国专利 :CN102327882A ,2012-01-25

[7]

单晶硅片清洗装置 [P].

朱玲 ;

朱汪龙 ;

王兰 .

中国专利 :CN206271669U ,2017-06-20

[8]

单晶硅片清洗装置 [P].

牛龙 ;

王文 ;

童林剑 ;

张斌 ;

胡亚东 ;

董典谟 ;

樊帅 .

中国专利 :CN203508507U ,2014-04-02

[9]

一种用于清洗太阳能单晶硅片的清洗工艺 [P].

张大鹏 .

中国专利 :CN110575995A ,2019-12-17

[10]

一种单晶硅电池生产中去除单晶硅片上磷硅玻璃的方法 [P].

刘万学 ;

刘志坚 ;

程明辉 ;

吴帅 ;

杨帅 ;

韩丽 .

中国专利 :CN102723398A ,2012-10-10

← 1 2 3 4 5 →