一种MOCVD石墨盘烤盘炉的清洁装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620436069.3

申请日：

2016-05-16

公开(公告)号：

CN205797819U

公开(公告)日：

2016-12-14

发明(设计)人：

宋景锋

申请人：

申请人地址：

215021 江苏省苏州市工业园区苏虹东路388号

IPC主分类号：

B08B100

IPC分类号：

B08B1504

代理机构：

南京苏科专利代理有限责任公司 32102

代理人：

陆明耀

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-14	授权	授权
2020-05-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 1/00 申请日:20160516 授权公告日:20161214 终止日期:20190516

共 50 条

[1]

一种MOCVD石墨盘清洁装置 [P].

刘建平 ;

张永红 ;

王峰 ;

王怀兵 ;

朱建军 ;

张书明 ;

杨辉 .

中国专利 :CN102174690A ,2011-09-07

[2]

一种MOCVD真空烤盘炉 [P].

陈兴友 ;

魏凯 ;

王雪平 ;

赵万方 ;

门宁锋 ;

朱宇 .

中国专利 :CN206396324U ,2017-08-11

[3]

MOCVD石墨盘 [P].

付羿 ;

周名兵 .

中国专利 :CN211771539U ,2020-10-27

[4]

一种烤盘自动清洁装置 [P].

黄凤艳 .

中国专利 :CN210077589U ,2020-02-18

[5]

一种烘焙烤盘清洁装置 [P].

邱望来 ;

叶坤岗 .

中国专利 :CN221931132U ,2024-11-01

[6]

一种烤盘自动清洁装置 [P].

黄国栋 .

中国专利 :CN214385799U ,2021-10-15

[7]

一种MOCVD石墨盘 [P].

李鸿渐 ;

李盼盼 ;

李志聪 ;

孙一军 ;

王国宏 .

中国专利 :CN203820925U ,2014-09-10

[8]

一种烤盘清洁装置 [P].

唐德权 ;

杨勇 .

中国专利 :CN222306556U ,2025-01-07

[9]

一种烤盘自动清洁装置 [P].

李玉尧 ;

丁宏宇 .

中国专利 :CN118719747A ,2024-10-01

[10]

一种烤盘自动清洁装置 [P].

李玉尧 ;

丁宏宇 .

中国专利 :CN118719747B ,2024-11-12

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