一种MOCVD石墨盘烤盘炉的清洁装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201620436069.3
申请日
2016-05-16
公开(公告)号
CN205797819U
公开(公告)日
2016-12-14
发明(设计)人
宋景锋
申请人
申请人地址
215021 江苏省苏州市工业园区苏虹东路388号
IPC主分类号
B08B100
IPC分类号
B08B1504
代理机构
南京苏科专利代理有限责任公司 32102
代理人
陆明耀
法律状态
授权
国省代码
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