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一种MOCVD石墨盘烤盘炉的清洁装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201620436069.3
申请日：
2016-05-16
公开(公告)号：
CN205797819U
公开(公告)日：
2016-12-14
发明(设计)人：
宋景锋
申请人：
申请人地址：
215021 江苏省苏州市工业园区苏虹东路388号
IPC主分类号：
B08B100
IPC分类号：
B08B1504
代理机构：
南京苏科专利代理有限责任公司 32102
代理人：
陆明耀
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-12-14 | 授权 | 授权 |
| 2020-05-01 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 1/00 申请日:20160516 授权公告日:20161214 终止日期:20190516 |