一种超薄氧化硅膜材料及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410354061.8

申请日：

2014-07-23

公开(公告)号：

CN104120404A

公开(公告)日：

2014-10-29

发明(设计)人：

宋志伟褚卫国

申请人：

申请人地址：

100190 北京市海淀区中关村北一条11号

IPC主分类号：

C23C1640

IPC分类号：

C23C16513

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

巩克栋;杨晞

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-29	公开	公开
2014-12-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101589564848 IPC(主分类):C23C 16/40 专利申请号:2014103540618 申请日:20140723
2018-03-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 16/40 申请公布日:20141029

共 50 条

[1]

一种氧化硅膜材料及其制备方法 [P].

宋志伟 ;

褚卫国 .

中国专利 :CN104099581A ,2014-10-15

[2]

一种超薄氮化硅膜材料及其制备方法 [P].

宋志伟 ;

褚卫国 .

中国专利 :CN104099579A ,2014-10-15

[3]

一种氮氧化硅膜材料及其制备方法和用途 [P].

宋志伟 ;

褚卫国 .

中国专利 :CN104532207A ,2015-04-22

[4]

一种氮化硅膜材料及其制备方法 [P].

宋志伟 ;

褚卫国 .

中国专利 :CN104120403A ,2014-10-29

[5]

一种超薄氮氧化硅膜材料及其制备方法和用途 [P].

宋志伟 ;

褚卫国 .

中国专利 :CN104498895B ,2015-04-08

[6]

一种纤维素复合氧化硅超疏水材料及其制备方法 [P].

赵媛 ;

黄崇杏 ;

许扬帆 ;

李翠翠 ;

苏红霞 ;

王健 ;

张霖雲 ;

赵辉 ;

黄丽婕 ;

段青山 .

中国专利 :CN111118944B ,2020-05-08

[7]

一种氧化硅-碳丝活性材料及其制备方法和应用 [P].

丁旭丽 ;

赵洪达 ;

梁道伟 .

中国专利 :CN112510180B ,2021-03-16

[8]

一种氧化硅纳米材料及其制备方法 [P].

张剑 ;

周旭东 ;

胡春圆 ;

崔啟良 ;

田辉 ;

王悦 .

中国专利 :CN106185955B ,2016-12-07

[9]

一种介孔氧化硅材料及其制备方法 [P].

吴强德 .

中国专利 :CN109384238A ,2019-02-26

[10]

一种超薄纳米散热膜材料及其制备方法 [P].

李忠诚 ;

秦浩 .

中国专利 :CN105188322A ,2015-12-23

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