一种超薄氮氧化硅膜材料及其制备方法和用途

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410811923.5

申请日：

2014-12-23

公开(公告)号：

CN104498895B

公开(公告)日：

2015-04-08

发明(设计)人：

宋志伟褚卫国

申请人：

申请人地址：

100190 北京市海淀区中关村北一条11号

IPC主分类号：

C23C1630

IPC分类号：

C23C16513

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

巩克栋;侯桂丽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-22	授权	授权
2015-04-08	公开	公开
2015-05-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101608382697 IPC(主分类):C23C 16/30 专利申请号:2014108119235 申请日:20141223

共 50 条

[1]

一种氮氧化硅膜材料及其制备方法和用途 [P].

宋志伟 ;

褚卫国 .

中国专利 :CN104532207A ,2015-04-22

[2]

一种超薄氧化硅膜材料及其制备方法 [P].

宋志伟 ;

褚卫国 .

中国专利 :CN104120404A ,2014-10-29

[3]

一种氧化硅膜材料及其制备方法 [P].

宋志伟 ;

褚卫国 .

中国专利 :CN104099581A ,2014-10-15

[4]

一种超薄氮化硅膜材料及其制备方法 [P].

宋志伟 ;

褚卫国 .

中国专利 :CN104099579A ,2014-10-15

[5]

一种氮化硅膜材料及其制备方法 [P].

宋志伟 ;

褚卫国 .

中国专利 :CN104120403A ,2014-10-29

[6]

氮氧化硅色谱固定相材料及其制备和应用 [P].

梁鑫淼 ;

万慧慧 ;

薛兴亚 .

中国专利 :CN102451667B ,2012-05-16

[7]

超薄氮氧化硅界面材料、遂穿氧化钝化结构及其制备方法和应用 [P].

叶继春 ;

曾俞衡 ;

邢海洋 ;

马典 ;

刘伟 ;

闫宝杰 ;

廖明墩 .

中国专利 :CN114843350A ,2022-08-02

[8]

超薄氮氧化硅界面材料、隧穿氧化钝化结构及其制备方法和应用 [P].

叶继春 ;

曾俞衡 ;

邢海洋 ;

马典 ;

刘伟 ;

闫宝杰 ;

廖明墩 .

中国专利 :CN114843350B ,2024-12-20

[9]

形成氮氧化硅膜的方法和具有由此形成的氮氧化硅膜的衬底 [P].

N·申德 ;

长原达郎 ;

高野祐辅 .

中国专利 :CN103702933A ,2014-04-02

[10]

一种氧化亚硅/氮氧化硅复合材料及其制备和应用 [P].

张亚光 ;

周向阳 ;

杨娟 ;

唐晶晶 .

中国专利 :CN115832230B ,2025-06-20

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