氧化锌系透明导体以及该透明导体形成用溅射靶

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200780009585.1

申请日：

2007-02-19

公开(公告)号：

CN101405427A

公开(公告)日：

2009-04-08

发明(设计)人：

生泽正克矢作政隆

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1408

IPC分类号：

C04B35453 C23C1434 H01B514

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人：

樊卫民;郭国清

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-06-03	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-02-16	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101067076623 IPC(主分类):C23C 14/08 专利申请号:2007800095851 变更事项:申请人变更前权利人:日矿金属株式会社变更后权利人:JX日矿日石金属株式会社变更事项:地址变更前权利人:日本东京都变更后权利人:日本东京都登记生效日:20110104
2009-04-08	公开	公开
2017-04-26	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101750500540 IPC(主分类):C23C 14/08 专利号:ZL2007800095851 变更事项:专利权人变更前:JX日矿日石金属株式会社变更后:捷客斯金属株式会社变更事项:地址变更前:日本东京都变更后:日本东京都
2012-07-18	授权	授权
2021-04-30	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/08 变更事项:专利权人变更前:捷客斯金属株式会社变更后:捷客斯金属株式会社变更事项:地址变更前:日本东京都变更后:日本东京

共 50 条

[1]

氧化锌系透明导体、溅射靶以及该溅射靶的制造方法 [P].

生泽正克 ;

矢作政隆 .

中国专利 :CN101490766B ,2009-07-22

[2]

氧化镓-氧化锌系溅射靶、透明导电膜的形成方法及透明导电膜 [P].

长田幸三 .

中国专利 :CN100549219C ,2008-06-25

[3]

氧化镓-氧化锌系溅射靶、透明导电膜的形成方法及透明导电膜 [P].

长田幸三 .

中国专利 :CN101208453B ,2008-06-25

[4]

氧化锌系烧结体及其制造方法和溅射靶以及透明导电膜 [P].

窪内裕太 .

中国专利 :CN105008306A ,2015-10-28

[5]

氧化镓-氧化锌类溅射靶、透明导电膜及其形成方法 [P].

长田幸三 .

中国专利 :CN101326304B ,2008-12-17

[6]

氧化锌烧结体、溅射靶材以及氧化锌薄膜 [P].

召田雅实 ;

仓持豪人 ;

饭草仁志 ;

尾身健治 ;

涩田见哲夫 .

中国专利 :CN103249693B ,2013-08-14

[7]

氧化锌系透明导电膜 [P].

中田邦彦 ;

堀田翔平 .

中国专利 :CN104871257A ,2015-08-26

[8]

氧化铟-氧化锌-氧化镁类溅射靶及透明导电膜 [P].

井上一吉 ;

松原雅人 ;

笘井重和 ;

岛根幸朗 .

中国专利 :CN100564579C ,2008-02-13

[9]

氧化锌基烧结体、包含该烧结体的氧化锌基溅射靶和用该靶进行溅射而得到的氧化锌基薄膜 [P].

高见英生 ;

奈良淳史 .

中国专利 :CN105612136B ,2016-05-25

[10]

溅射靶、透明导电氧化物和制备该溅射靶的方法 [P].

井上一吉 ;

渋谷忠夫 ;

海上晓 .

中国专利 :CN1379827A ,2002-11-13

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