一种利用同步可控电子束提高聚焦离子束加工精度的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010569692.3

申请日：

2010-12-02

公开(公告)号：

CN102064077A

公开(公告)日：

2011-05-18

发明(设计)人：

王荣明罗浒崔益民姚骏恩

申请人：

申请人地址：

100191 北京市海淀区学院路37号北航物理科学与核能工程学院

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京慧泉知识产权代理有限公司 11232

代理人：

王顺荣;唐爱华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-06-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101267910623 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2010105696923 申请日:20101202
2014-12-24	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101709078464 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2010105696923 申请公布日:20110518
2011-05-18	公开	公开

共 50 条

[1]

一种聚焦离子束-电子束双束融合可控微纳加工的方法 [P].

李文萍 ;

王荣明 ;

崔益民 .

中国专利 :CN105668514A ,2016-06-15

[2]

利用聚焦离子束加工透射样品的方法 [P].

吴华强 ;

孙雯 ;

高滨 ;

唐建石 ;

钱鹤 ;

王钰言 .

中国专利 :CN119804090A ,2025-04-11

[3]

电子束－离子束微纳米加工组合系统 [P].

王荣明 ;

崔益民 ;

孙倩 ;

李文萍 ;

姚骏恩 .

中国专利 :CN101301994A ,2008-11-12

[4]

一种利用聚焦离子束技术制备光纤探针的方法 [P].

邵天敏 ;

张少婧 ;

刘佳琛 ;

王惠 ;

刘大猛 .

中国专利 :CN102590560A ,2012-07-18

[5]

一种聚焦离子束双束系统样品台 [P].

胡蓉 ;

陈汉 ;

薛晶 ;

沙刚 ;

靳慎豹 .

中国专利 :CN110208299A ,2019-09-06

[6]

一种基于聚焦离子束加工的金刚石刀具可控修锐方法 [P].

刘冰 ;

姜北 ;

张临格 ;

王欣雅 ;

马迪 ;

杨雄 .

中国专利 :CN109514057A ,2019-03-26

[7]

利用聚焦离子束加工半导体芯片结构透射样品的方法 [P].

吴华强 ;

孙雯 ;

唐建石 ;

高滨 ;

钱鹤 .

中国专利 :CN116380577B ,2025-07-22

[8]

一种离子束和电子束调制开关 [P].

林沁 ;

杨忠钰 ;

施林伟 ;

李维 ;

邓江东 .

中国专利 :CN203498071U ,2014-03-26

[9]

一种聚焦离子束刻蚀加工工艺参数的设计方法 [P].

幸研 ;

李源 ;

陈乾潢 ;

方晨 .

中国专利 :CN109165400A ,2019-01-08

[10]

聚焦离子束系统及改进聚焦粒子束加工的方法 [P].

T.米勒 ;

S.克罗格 ;

S.张 ;

M.马佐斯 ;

A.格劳佩拉 .

中国专利 :CN103456588B ,2013-12-18

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