一种聚焦离子束-电子束双束融合可控微纳加工的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610046845.3

申请日：

2016-01-25

公开(公告)号：

CN105668514A

公开(公告)日：

2016-06-15

发明(设计)人：

李文萍王荣明崔益民

申请人：

申请人地址：

100191 北京市海淀区学院路37号

IPC主分类号：

B82B300

IPC分类号：

B82Y4000

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-15	公开	公开
2017-12-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B82B 3/00 申请日:20160125
2019-04-23	授权	授权

共 50 条

[1]

一种利用同步可控电子束提高聚焦离子束加工精度的方法 [P].

王荣明 ;

罗浒 ;

崔益民 ;

姚骏恩 .

中国专利 :CN102064077A ,2011-05-18

[2]

电子束－离子束微纳米加工组合系统 [P].

王荣明 ;

崔益民 ;

孙倩 ;

李文萍 ;

姚骏恩 .

中国专利 :CN101301994A ,2008-11-12

[3]

电子束或离子束在绝缘材料表面成像或微纳加工的方法 [P].

王伟 ;

庞陈雷 ;

佘玄 ;

杨青 ;

吴兰 .

中国专利 :CN112624036A ,2021-04-09

[4]

聚焦离子束设备及聚焦离子束检测方法 [P].

赖李龙 .

中国专利 :CN101246132B ,2008-08-20

[5]

一种聚焦离子束双束系统样品台 [P].

胡蓉 ;

陈汉 ;

薛晶 ;

沙刚 ;

靳慎豹 .

中国专利 :CN110208299A ,2019-09-06

[6]

聚焦离子束分析方法 [P].

段淑卿 ;

曹蓉 ;

齐瑞娟 ;

于会生 .

中国专利 :CN105097580A ,2015-11-25

[7]

一种离子束和电子束调制开关 [P].

林沁 ;

杨忠钰 ;

施林伟 ;

李维 ;

邓江东 .

中国专利 :CN203498071U ,2014-03-26

[8]

一种用于聚焦离子束双束系统的样品承载台 [P].

沙刚 ;

焦点 ;

滕龙 .

中国专利 :CN117907364A ,2024-04-19

[9]

聚焦离子束系统及改进聚焦粒子束加工的方法 [P].

T.米勒 ;

S.克罗格 ;

S.张 ;

M.马佐斯 ;

A.格劳佩拉 .

中国专利 :CN103456588B ,2013-12-18

[10]

束闸及对中单元一体化的聚焦离子束微纳加工系统 [P].

李文萍 ;

刘丁旭 ;

王者 ;

赵国兴 ;

许卓扬 ;

吴璇 ;

芮李钰珩 ;

赵利荣 .

中国专利 :CN120809559A ,2025-10-17

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