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一种半导体测试探针清洗装置及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201310225946.3
申请日：
2013-06-07
公开(公告)号：
CN103316865A
公开(公告)日：
2013-09-25
发明(设计)人：
杨波
杨应俊
韦日文
刘振辉
沈杰
梁贵
王业文
柯权珍
高小伟
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙岗区龙城街道中心城龙城工业园路3号特发龙飞E栋创业大厦二楼
IPC主分类号：
B08B312
IPC分类号：
B08B1300
代理机构：
深圳新创友知识产权代理有限公司 44223
代理人：
江耀纯
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-05-20 | 授权 | 授权 |
| 2013-09-25 | 公开 | 公开 |
| 2020-04-14 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B08B 3/12 变更事项:专利权人 变更前:深圳市矽电半导体设备有限公司 变更后:矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 变更事项:地址 变更前:518000 广东省深圳市龙岗区龙城街道中心城龙城工业园路3号特发龙飞E栋创业大厦二楼 变更后:518000 广东省深圳市龙岗区龙城街道中心城龙城工业园路3号特发龙飞E栋创业大厦二楼 |
| 2013-10-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101533528224 IPC(主分类):B08B 3/12 专利申请号:2013102259463 申请日:20130607 |