一种晶圆面形实时在线测量系统及其测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110647956.0

申请日：

2021-06-10

公开(公告)号：

CN113587827A

公开(公告)日：

2021-11-02

发明(设计)人：

朱亮沈文杰李阳健严浩张杨燕

申请人：

申请人地址：

312300 浙江省绍兴市上虞区经济开发区通江西路218号

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

G01B1130

代理机构：

杭州中成专利事务所有限公司 33212

代理人：

朱莹莹;周世骏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-02	公开	公开
2021-11-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20210610

共 50 条

[1]

一种玻璃材料应力的在线实时测量系统及其测量方法 [P].

尚奇 ;

陆健 ;

张宏超 .

中国专利 :CN110836740A ,2020-02-25

[2]

晶圆测量方法及其系统 [P].

陈建帆 .

中国专利 :CN120352662A ,2025-07-22

[3]

一种在线测量晶圆曲率的测量系统和测量方法 [P].

胡耀文 ;

郭春磊 ;

李肖辰 .

中国专利 :CN118670299A ,2024-09-20

[4]

一种在线测量晶圆曲率的测量系统和测量方法 [P].

胡耀文 ;

郭春磊 ;

李肖辰 .

中国专利 :CN118670299B ,2024-12-06

[5]

一种晶圆翘曲测量系统及测量方法 [P].

许军 ;

张傲 ;

朱樊樊 ;

余啸 ;

汪小悦 ;

汪亮 ;

高倩妹 ;

王沛 .

中国专利 :CN117419654A ,2024-01-19

[6]

晶圆测量方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112201587A ,2021-01-08

[7]

一种在线测量系统及其在线测量方法 [P].

彭雄良 .

中国专利 :CN103084927A ,2013-05-08

[8]

双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置及其测量方法 [P].

朱冠超 ;

方明 ;

申雁鸣 ;

易葵 .

中国专利 :CN101251472A ,2008-08-27

[9]

形面测量方法 [P].

蒋雨晴 ;

陈伟 ;

马超 ;

舒畅 .

中国专利 :CN109916253A ,2019-06-21

[10]

一种大气颗粒物粒径和化学成分的实时在线测量系统及测量方法 [P].

桂华侨 ;

李德平 ;

程寅 ;

王杰 ;

王焕钦 ;

余同柱 ;

刘建国 ;

陆亦怀 ;

鲁岸立 ;

张礁石 ;

黄书华 ;

伍德侠 .

中国专利 :CN103454203B ,2013-12-18

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