光掩模坯、光掩模及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610107711.4

申请日：

2006-07-20

公开(公告)号：

CN1900819A

公开(公告)日：

2007-01-24

发明(设计)人：

吉川博树洼田宽木名濑良纪冈崎智丸山保原口崇岩片政秀福岛祐一佐贺匡

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F114

IPC分类号：

G03F716

代理机构：

北京市金杜律师事务所

代理人：

孟凡宏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-01-24	公开	公开
2008-06-25	实质审查的生效	实质审查的生效
2014-01-22	授权	授权
2022-11-11	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G03F 1/32 登记生效日:20221028 变更事项:专利权人变更前权利人:信越化学工业株式会社变更后权利人:信越化学工业株式会社变更事项:地址变更前权利人:日本东京都变更后权利人:日本东京都变更事项:专利权人变更前权利人:凸版印刷株式会社变更后权利人:凸版光掩模有限公司

共 50 条

[1]

光掩模坯、光掩模及其制作方法 [P].

吉川博树 ;

洼田宽 ;

木名濑良纪 ;

冈崎智 ;

丸山保 ;

原口崇 ;

岩片政秀 ;

福岛祐一 ;

佐贺匡 .

中国专利 :CN103809369B ,2014-05-21

[2]

光掩模坯、光掩模及其制作方法 [P].

吉川博树 ;

洼田宽 ;

木名濑良纪 ;

冈崎智 ;

丸山保 ;

原口崇 ;

岩片政秀 ;

福岛祐一 ;

佐贺匡 .

中国专利 :CN102654730A ,2012-09-05

[3]

光掩模坯、光掩模以及光掩模的制造方法 [P].

松井一晃 ;

小岛洋介 .

日本专利 :CN118401890A ,2024-07-26

[4]

光掩模坯 [P].

笹本纮平 .

中国专利 :CN106502041A ,2017-03-15

[5]

光掩模坯 [P].

笹本纮平 ;

稻月判臣 .

中国专利 :CN114326285A ,2022-04-12

[6]

光掩模坯 [P].

笹本纮平 ;

稻月判臣 .

中国专利 :CN114326284A ,2022-04-12

[7]

光掩模及其制作方法 [P].

三坂章夫 .

中国专利 :CN1209683C ,2002-10-09

[8]

光掩模坯 [P].

笹本纮平 ;

稻月判臣 .

中国专利 :CN106502043A ,2017-03-15

[9]

光掩模坯 [P].

笹本纮平 ;

稻月判臣 .

中国专利 :CN114924460A ,2022-08-19

[10]

光掩模坯以及光掩模的制备方法 [P].

高坂卓郎 ;

稻月判臣 ;

金子英雄 .

中国专利 :CN107153325A ,2017-09-12

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