辐射源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380026022.9

申请日：

2013-04-29

公开(公告)号：

CN104488362A

公开(公告)日：

2015-04-01

发明(设计)人：

J·范斯库特 A·凯姆鹏 H·克鲁威尔 A·M·雅库尼恩

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

H05G200

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

吴敬莲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-10	授权	授权
2015-06-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101614149251 IPC(主分类):H05G 2/00 专利申请号:2013800260229 申请日:20130429
2015-04-01	公开	公开

共 50 条

[1]

H·M·米尔德 ;

M·A·范德柯克霍夫 .

中国专利 :CN110692283A ,2020-01-14

[2]

A·亚库宁 ;

V·伊万诺夫 ;

J·范斯库特 ;

V·克里夫特苏恩 ;

G·斯温克尔斯 ;

V·梅德韦杰夫 .

中国专利 :CN103782662B ,2014-05-07

[3]

B·詹森 ;

J·胡格坎普 .

中国专利 :CN103843463A ,2014-06-04

[4]

A·凯姆鹏 ;

E·鲁普斯特拉 ;

C·瓦格纳 ;

H·泰根博世 ;

G·斯温克尔斯 .

中国专利 :CN103733735B ,2014-04-16

[5]

A·凯姆鹏 ;

E·鲁普斯特拉 ;

C·伦特罗普 ;

D·德格拉夫 ;

F·古贝尔斯 ;

G·R·海斯 ;

H·J·范德维尔 .

中国专利 :CN103748969A ,2014-04-23

[6]

R·L·唐克 ;

H-K·尼恩惠斯 .

中国专利 :CN111133840A ,2020-05-08

[7]

D·库日洛维奇 ;

O·O·维尔索拉托 ;

T·皮涅罗德法利亚斯平托 ;

S·M·维特 .

中国专利 :CN111788868A ,2020-10-16

[8]

D·库日洛维奇 ;

O·O·维尔索拉托 ;

T·皮涅罗德法利亚斯平托 ;

S·M·维特 .

:CN111788868B ,2024-05-28

[9]

辐射源和光刻设备 [P].

M·A·C·斯凯皮斯 ;

M·F·A·欧林斯 ;

F·J·J·杰森 ;

B·J·A·斯道米恩 ;

H·J·M·柯鲁维尔 ;

J·考亨 ;

H·帕特尔 ;

P·W·J·杰森 ;

M·K·J·伯恩 .

中国专利 :CN102819194B ,2012-12-12

[10]

EUV辐射源 [P].

拉尔斯·彼得·本克 .

中国专利 :CN115552335A ,2022-12-30

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