辐射源

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专利类型
发明
申请号
CN201280049179.9
申请日
2012-09-06
公开(公告)号
CN103843463A
公开(公告)日
2014-06-04
发明(设计)人
B·詹森 J·胡格坎普
申请人
申请人地址
荷兰维德霍温
IPC主分类号
H05G200
IPC分类号
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
张启程
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
辐射源 [P]. 
A·亚库宁 ;
V·伊万诺夫 ;
J·范斯库特 ;
V·克里夫特苏恩 ;
G·斯温克尔斯 ;
V·梅德韦杰夫 .
中国专利 :CN103782662B ,2014-05-07
[2]
辐射源 [P]. 
H·M·米尔德 ;
M·A·范德柯克霍夫 .
中国专利 :CN110692283A ,2020-01-14
[3]
辐射源 [P]. 
A·凯姆鹏 ;
E·鲁普斯特拉 ;
C·瓦格纳 ;
H·泰根博世 ;
G·斯温克尔斯 .
中国专利 :CN103733735B ,2014-04-16
[4]
辐射源 [P]. 
A·凯姆鹏 ;
E·鲁普斯特拉 ;
C·伦特罗普 ;
D·德格拉夫 ;
F·古贝尔斯 ;
G·R·海斯 ;
H·J·范德维尔 .
中国专利 :CN103748969A ,2014-04-23
[5]
辐射源 [P]. 
J·范斯库特 ;
A·凯姆鹏 ;
H·克鲁威尔 ;
A·M·雅库尼恩 .
中国专利 :CN104488362A ,2015-04-01
[6]
辐射源 [P]. 
D·库日洛维奇 ;
O·O·维尔索拉托 ;
T·皮涅罗德法利亚斯平托 ;
S·M·维特 .
中国专利 :CN111788868A ,2020-10-16
[7]
辐射源 [P]. 
D·库日洛维奇 ;
O·O·维尔索拉托 ;
T·皮涅罗德法利亚斯平托 ;
S·M·维特 .
:CN111788868B ,2024-05-28
[8]
辐射源和光刻设备 [P]. 
O·诺德曼 ;
M·奥林斯 .
中国专利 :CN105474101B ,2016-04-06
[9]
EUV辐射源 [P]. 
拉尔斯·彼得·本克 .
中国专利 :CN115552335A ,2022-12-30
[10]
辐射源 [P]. 
M·F·A·厄尔林斯 ;
N·A·J·M·克里曼斯 ;
A·J·J·范迪杰西尔多克 ;
R·M·霍夫斯特拉 ;
O·F·J·努德曼 ;
T·N·费姆 ;
J·B·P·范斯库特 ;
J-C·王 ;
K·W·张 .
中国专利 :CN105940349A ,2016-09-14