曝光用LED光源装置及曝光用LED光源装置管理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380080563.X

申请日：

2013-11-05

公开(公告)号：

CN105765459A

公开(公告)日：

2016-07-13

发明(设计)人：

洪珍杓李在庆金明珍吴玿永沈铉昌闵圣琇赵洧章洪玉杓

申请人：

申请人地址：

韩国忠清北道清州市兴德区工团路134（松亭洞）8层801号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L21027 H05B3702

代理机构：

北京冠和权律师事务所 11399

代理人：

朱健;陈国军

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101673494834 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:201380080563X 申请日:20131105
2018-01-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20160713
2016-07-13	公开	公开

共 50 条

[1]

曝光用ＬＥＤ光源模块、曝光用ＬＥＤ光源装置及曝光用ＬＥＤ光源装置管理系统 [P].

李在庆 ;

吴玿永 ;

沈铉昌 ;

尹东吉 ;

金东映 ;

任祥均 ;

郑成容 ;

徐在寅 ;

朴锺植 ;

崔桓溶 ;

申美善 ;

金韩龙 .

中国专利 :CN103502723B ,2014-01-08

[2]

曝光用光源装置 [P].

三浦雄一 ;

林贤志 .

中国专利 :CN112969969B ,2021-06-15

[3]

曝光用的光源装置、曝光装置及曝光方法 [P].

松坂昌明 ;

榎本芳幸 ;

高濑和博 ;

矢部俊一 ;

松下智恒 .

中国专利 :CN113544589A ,2021-10-22

[4]

曝光用光源模块单元以及设置有所述光源模块单元的曝光装置 [P].

赵南稙 ;

印致亿 ;

朴钟沅 ;

宋友莉 ;

丁海一 .

中国专利 :CN107924134B ,2018-04-17

[5]

曝光用光源模块单元以及设置有所述光源模块单元的曝光装置 [P].

赵南稙 ;

印致亿 ;

朴钟沅 ;

宋友莉 ;

丁海一 .

中国专利 :CN109923477B ,2019-06-21

[6]

曝光用光源模块单元以及设置有所述光源模块单元的曝光装置 [P].

赵南稙 ;

印致亿 ;

朴钟沅 ;

宋友莉 ;

丁海一 .

中国专利 :CN108780281B ,2018-11-09

[7]

曝光机光源装置 [P].

徐福润 .

中国专利 :CN201765435U ,2011-03-16

[8]

UV-LED曝光光源系统 [P].

胡德立 .

中国专利 :CN109143789A ,2019-01-04

[9]

曝光装置及光源装置 [P].

小久保正彦 ;

城田浩行 .

中国专利 :CN102402130B ,2012-04-04

[10]

UV LED光源结构及平行光曝光机 [P].

江海波 ;

孙秀辉 ;

蔡文涛 ;

杨正 ;

尹韶云 ;

杜春雷 .

中国专利 :CN205539935U ,2016-08-31

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