细缝喷嘴和基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510055171.5

申请日：

2005-03-18

公开(公告)号：

CN100400180C

公开(公告)日：

2005-09-21

发明(设计)人：

池田文彦古村智之楫屋裕之

申请人：

申请人地址：

日本京都府京都市

IPC主分类号：

B05C502

IPC分类号：

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司

代理人：

高龙鑫;潘培坤

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-01	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101713136747 IPC(主分类):B05C 5/02 专利号:ZL2005100551715 变更事项:专利权人变更前:大日本网屏制造株式会社变更后:斯克林集团公司变更事项:地址变更前:日本京都府京都市变更后:日本京都府京都市
2015-04-01	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101713136746 IPC(主分类):B05C 5/02 专利号:ZL2005100551715 变更事项:专利权人变更前:大日本网目版制造株式会社变更后:大日本网屏制造株式会社变更事项:地址变更前:日本京都府京都市变更后:日本京都府京都市
2005-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-07-09	授权	授权
2005-09-21	公开	公开

共 50 条

[1]

基板处理装置和喷嘴 [P].

福岛刚史 ;

相浦一博 ;

伊藤规宏 .

中国专利 :CN107658244A ,2018-02-02

[2]

基板处理装置和喷嘴 [P].

福岛刚史 ;

相浦一博 ;

伊藤规宏 .

日本专利 :CN107658244B ,2024-12-13

[3]

基板处理装置和喷嘴 [P].

福岛刚史 ;

相浦一博 ;

伊藤规宏 .

中国专利 :CN207097787U ,2018-03-13

[4]

基板处理装置和喷嘴清洗方法 [P].

三浦淳靖 ;

池田昌秀 ;

辻川裕贵 ;

藤田和宏 ;

土桥裕也 .

中国专利 :CN107799438A ,2018-03-13

[5]

喷嘴、包括喷嘴的基板处理装置和基板处理方法 [P].

崔基勋 ;

朱润钟 ;

姜秉万 .

中国专利 :CN106206368A ,2016-12-07

[6]

基板处理装置、喷嘴以及基板处理方法 [P].

山下永二 ;

富藤幸雄 ;

羽方满之 .

中国专利 :CN104952765B ,2015-09-30

[7]

基板处理方法、基板处理装置和流体喷嘴 [P].

奥谷学 ;

小林健司 ;

吉原直彦 .

中国专利 :CN105826219A ,2016-08-03

[8]

喷嘴单元、基板处理装置和基板处理方法 [P].

李俊镐 ;

吴昌石 .

中国专利 :CN103084290A ,2013-05-08

[9]

喷嘴及基板处理装置 [P].

根本脩平 ;

村元僚 ;

泽岛隼 ;

远藤亨 .

日本专利 :CN121219819A ,2025-12-26

[10]

狭缝喷嘴和基板处理装置 [P].

金慧敬 ;

申承源 .

韩国专利 :CN118268194A ,2024-07-02

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