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喷嘴、包括喷嘴的基板处理装置和基板处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610366103.9
申请日：
2016-05-27
公开(公告)号：
CN106206368A
公开(公告)日：
2016-12-07
发明(设计)人：
崔基勋
朱润钟
姜秉万
申请人：
申请人地址：
韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五街七七
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444
代理人：
王刚;龚敏
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-01-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101695182650 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2016103661039 申请日:20160527 |
| 2021-05-04 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20161207 |
| 2016-12-07 | 公开 | 公开 |